PVDコートとCVDコートの違い

[2024/8/29公開]

Question

PVDコートとCVDコートの違いを教えて

切削工具のコーティングでPVDコートとCVDコートがありますが、違いを教えてもらえますか？

Answer

旋削チップなどに記載されているPVDコートとCVDコートの違いは製法の違いです。製法による一般的な機能の違いは、主に膜厚と密着力が異なる傾向です。

PVDとはPhysical Vapor Depositionの略で物理的蒸着法のことです。固体材料を加熱やスパッタ、プラズマなどにより蒸発・イオン化させて薄膜形成します。

機能の特徴

  • 600℃以下での比較的低温処理のため、母材へのダメージが少なくハイスやシャープエッジにもコート可能
  • 膜厚は比較的薄い（5μm以下）
  • 密着性はよいがCVDと比較するとやや劣る
  • CVDと比べ被膜種類の制約は少ない
PVDコーティング

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CVDとはChemical Vapor Depositionの略で化学的蒸着法のことです。ガス状の物質を熱（主流）やプラズマなどのエネルギーを加え化学反応させ薄膜形成します。

機能の特徴

  • 熱CVDは1000℃近い高温処理のため、母材へのダメージがありハイスやシャープエッジには不向き
    プラズマCVDは比較的低温処理
  • 膜厚は比較的厚い（20μm以下）
  • 密着性はよくPVDと比較するとややよい
    プラズマCVDはやや劣る
  • ガス原料により被膜種類に制約
CVDコーティング

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CVDコーティング

ミスミ・TNMG-MG・三角形・ネガ・穴有・旋削チップ

上記は製法による一般的な特徴です。コート多層化や製法などの技術進歩により、PVDやCVDといった限定的な性能差はなくなってきています。

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