高いコストパフォーマンスのクリーン環境を得るには、必要な空間に安定したクリーン環境を作り出すことです。局所クリーン化技術がこの考えにあっています。ここでは『 クリーンルームの構造解説(クリーンルーム対応LCA:ローコストオートメーション-3)』で解説したマイクロエンバイロメント(SMIFなど)ではなく、局所クリーン環境をLCA(ローコストオートメーション)思想で設計する考え方を解説します。
(1)局所クリーン化技術
局所クリーン化技術は、クリーン化したい対象に応じた簡易クリーン環境を設計・製作する技術で、次の3種類が代表的な形式です。
【表1】局所クリーン環境の形式
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(2)局所クリーン化のための簡易クリーンブース設計・製作の勘所
簡易クリーンブース設計の基本も、クリーン化三原則の考えと同じです。そのための設計の勘所は次表ですが、コントロールするものが「目には見えない小さなコンタミネーションの流れ」のため、1回で完全なものを狙うのではなく、クリーンエアーの流れを調整しながらベストな状態に持ち込むのがコツです。
【表2】簡易クリーンブース設計・製作の勘所
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