高いコストパフォーマンスのクリーン環境を得るには、必要な空間に安定したクリーン環境を作り出すことです。局所クリーン化技術がこの考えにあっています。ここでは『 クリーンルームの構造解説(クリーンルーム対応LCA:ローコストオートメーション-3)』で解説したマイクロエンバイロメント(SMIFなど)ではなく、局所クリーン環境をLCA(ローコストオートメーション)思想で設計する考え方を解説します。

(1)局所クリーン化技術

 局所クリーン化技術は、クリーン化したい対象に応じた簡易クリーン環境を設計・製作する技術で、次の3種類が代表的な形式です。

【表1】局所クリーン環境の形式

局所クリーン環境の形式 特徴 用途例
加圧乱流型
(【図1】-a))
・ 作業台の手前から作業を行う場合の局所クリーン化技術
・ フィルタユニットは上部又は前部に設置
・ クリーンルーム内での検査作業台
・ 精密部品の組立作業台
簡易クリーンブース型
(【図1】-b))
・ マニュアル作業で段取りを行った後に、無人運転で設備稼働させ、安定したクリーン度を得たい場合など
・ 無人状態では安定したクリーン度が得られる
・ 製品の出荷検査・梱包用
・ クリーンルーム内自動機の局所クリーンブース
・ エンジニアリング評価用
簡易クリーンスポット型
(【図1】-c))
・ 独立した設備のみをクリーン化したい場合など
・ 周辺環境の影響を受けにくい
・ 専用機用クリーンブース
・ 温度/湿度制御を伴うクリーンブース

図1

(2)局所クリーン化のための簡易クリーンブース設計・製作の勘所

 簡易クリーンブース設計の基本も、クリーン化三原則の考えと同じです。そのための設計の勘所は次表ですが、コントロールするものが「目には見えない小さなコンタミネーションの流れ」のため、1回で完全なものを狙うのではなく、クリーンエアーの流れを調整しながらベストな状態に持ち込むのがコツです。

【表2】簡易クリーンブース設計・製作の勘所

簡易クリーンブース設計の勘所 改良事例
ヘパフィルタユニットからでるエアーの流れに滞留を作らない
・ ブース内のコーナー部には傾斜板をつけ、クリーンエアーの流れを形成する(【図2】)
クリーン度の必要な部分へダイレクトにクリーンエアーを流す
・ 帯電防止処理されたシート(非塩ビシート:HPEDT)でダイレクトな流れを形成する(【【図3】)
ブース外にクリーンエアーがスムーズに排出される箇所に排気口を設ける
・ クリーンエアーの流れに応じて、ブース下部に数箇所
ブース内部で使用する部材はコンタミネーションが堆積しないものを選ぶ
・ 天井につける蛍光灯は傘なしの裸ランプを設置
・ 作業台は錆びないパンチング材
・ プラスチック類は帯電防止処理品
ブース構造材が帯電してコンタミネーションを吸着させないよう、アース等の除電処理ができる部材と構造設計すること
・ プラスチック類は帯電防止処理品
・ アルミフレームの表面処理層は、絶縁性を持つため、導電性ボルトで母材結合して導電体とすること

図2

図3