クリーンルームのクリーン度の正常化と、その維持を実現させる3つの原則があります。
|
(1)キャスタが転がるクリーンルームの床の状態
・ | クリーンルーム内では、クリーン度のレベルに応じてフィルターリングされたクリーンエアーで内部の空気が置換されていますが、床の上には、気流で廃棄されなかった色々なコンタミネーションが付着しています。 |
・ | したがって、床上のコンタミネーションを効率的に処理するクリーンルームの構造(グレーチング床)と、清掃作業による排除で対応しています。 |
(2)クリーンルーム用キャスタに求められる性能
クリーンルーム用キャスタにも「クリーン環境適正化の3原則」を実現させる性能が求められます。
a)コンタミネーションを持ち込まない性能のために
床上に堆積したコンタミネーションをキャスタのタイヤで他のクリーンルーム持ち込ませないために、タイヤを帯電防止性に優れたウレタン材を採用。
b)コンタミネーションを出さない性能のために
クリーンキャスタは次の性能を持っています。
(1)錆を生じないSUS材の採用
(2)低発塵性のクリーングリスの採用
(3)低硬度ウレタン(オクトロン)の採用による走行摩耗の抑制
(4)カーボン汚染の回避
c)コンタミネーションを堆積させない性能のために
清掃がし易いシンプルな構造と、グリス類は軸受部に封入された構造を採用しています。
(3)応用事例
下記の事例のようなクリーンルーム内で使用する設備や備品類のキャスタとして適しています。
* | クリーンルーム内で使用し、レイアウト変更が頻繁にある設備や機材類用(多機種化対応用など) |
* | 同 上 の多工程で使用する専用ワゴン(ガスボンベ、薬液などの副材搬送用など) |
* | 同 上 で使用するメンテナンス機材搬入用ワゴン |