クリーンルーム用搬送LCA（クリーンルーム対応LCA：ローコストオートメーション-14） | 技術情報

　クリーンルーム用搬送LCA（ローコストオートメーション）機構を事例として、クリーンルーム対応LCA設計のポイントを復習します。

【写真1】はガラス基板の搬送機構です。左側（オレンジ色矢印）からガラス基板が搬送され、写真の装置上で位置決めを行い、搬送方向を90度変更させる移載ユニットです。
ガラス基板はこの間は暴露状態で搬送されるため、搬送経路の空間は局所クリーン化技術で高度のコンタミネーションフリーとなっています。
写真上部の長方形の開口を通過して、ウェットプロセスの処理を行います。

NO.

機能

クリーンルーム用LCAのポイント

補足

搬送プーリの回転機構カバー

摺動機構部からの発塵を局所処理するカバー

発塵の局所処理
気流制御

基板搬送力を基板に伝える

・	搬送力を基板にバランス良く伝える配置設計と材料選定
・	Oリングは黒：ニトリルゴム、摩擦力伝達白：フッ素ゴム、基板支持

摩擦摩耗制御
材料技術

基板を取り込む開口

・	適正排気速度と基板変形に対する開口寸法余裕で開口寸法決まる

気流制御

基板の側面補助ガイド

・	摩耗しにくい材料
・	ダメージを与えない材料

材料技術

基板搬送力を基板に伝える

・	2.より5.では支持個数が少ないためOリングは全て黒：ニトリルゴムを装着

摩擦摩耗制御
材料技術

カバー

・	SUS装置カバー（防錆、発塵飛散防止）

材料技術

パンチングプレート

・	気流制御を要す部分のカバー

気流制御

幅寄せ機構（左右に移動）

・	基板近傍の摺動機構は基板の下部に配置

LCA設計技術

基板ガイド

・	搬送された基板を位置決めするガイド板
・	フッ素系樹脂：低摩擦係数、耐摩耗、耐薬品性

材料技術

10.

機構部ベースプレート

・	防錆、加工性、軽量なAl材

材料技術

11.

搬送機構（上下・回転）/カバー

・	搬送機構は上下移動しプーリ回転させて基板移送
・	カバー内部はポリウレタンベルトでAlプーリ回転伝達させることで発塵抑制

LCA設計技術