クリーンルーム用搬送LCA（ローコストオートメーション）機構を事例として、クリーンルーム対応LCA設計のポイントを復習します。
- 【写真1】はガラス基板の搬送機構です。左側（オレンジ色矢印）からガラス基板が搬送され、写真の装置上で位置決めを行い、搬送方向を90度変更させる移載ユニットです。
- ガラス基板はこの間は暴露状態で搬送されるため、搬送経路の空間は局所クリーン化技術で高度のコンタミネーションフリーとなっています。
- 写真上部の長方形の開口を通過して、ウェットプロセスの処理を行います。
■解説
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クリーンルーム用搬送LCA（ローコストオートメーション）機構を事例として、クリーンルーム対応LCA設計のポイントを復習します。
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