ヘパ・ウルパフィルタユニット

ヘパ・ウルパフィルタユニットの特長

• 一般工業用クリーンルーム機器で、ヘパISOクラス5～9、ウルパISOクラス3～6に対応ができます。
• 100V, 200Vの電源仕様があります。
• 吹出口清浄度は、ヘパISOクラス5、ウルパISOクラス3です。
• 風量の種類はヘパ1,3,5,10,15,25m3/min、ウルパ2.5,4,7,13,20m3/minがあります。
• プレフィルタの標準取り付けにより粗塵を捕集し、ヘパあるいはウルパフィルタの交換時期をのばすことができます。
• 動作中を示すLEDがフィルタ下面中央部にあり、動作確認を外部から目視できます。（風量1シリーズ除く）

ヘパ・ウルパの規格

• JIS規格では定格流量で粒径が0.3μmの粒子に対して、99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つフィルタをHEPA（High    Efficiency Particulate Air）フィルタ（高性能フィルタ）と呼びます。
• また、定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して、99.9995％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つフィルタをULPA（Ultra    Low Penetration Air）フィルタ（超高性能フィルタ）と呼びます。

ヘパ・ウルパフィルタの選択方法

ヘパフィルタの選択は下記を目安としてください。（米国連邦規格によるクラス表示を使用）

• クラス100：全面層流となる風量のユニット
• クラス1000：換気回数80回となる風量のユニット
• クラス10000：換気回数50回となる風量のユニット
• クラス100000：換気回数20回となる風量のユニット

ウルパフィルタの選択については、全面層流となるようご設計ください。

• 換気回数による清浄度クラスの定義は、あくまで目安です。パーティクルカウンタ（HEPACT インターネット掲載）を使用し、実測値に基づき清浄度クラスの定義をされることをお薦めします。

清浄度の規格

清浄度は単位体積当りに含まれる基準粒径の数で示されます。規格により、基準粒径と単位体積が異なるので注意が必要です。
ミスミのヘパ・ウルパフィルタの対象範囲を下表の網がけで示します。半導体分野の一部では規格として0.1μm/ft3が用いられています。

取り付け例

機能

異常検知機能

サーキットプロテクター付スイッチを採用しており、過電流を検知した場合にはスイッチが強制的に“OFF”となり、装置が停止します。復帰させる場合には安全に再使用できることを確認し、スイッチを入れてください。

動作中表示機能

スイッチを入れると、クリーンエアー吹出し面の高輝度LED運転表示灯が点灯します。表示灯を点灯させたくない場合には、メインフィルタを外し本体ケース側面に設置されている表示灯用基盤のガラス管ヒューズを取り外してご使用ください。（下図参照）風量1シリーズには表示灯がありません。

保守・点検

外側

• 柔らかい布で、から拭きしてください。（クリーンルーム設置の場合は、発塵性の低い布が良い。）
• 汚れがひどい場合は、ぬるま湯か中性洗剤をご使用ください。（クリーンルーム設置の場合は、純水や精製水をご使用ください。）
• 中性洗剤を使用した後は、必ずきれいな水を含ませた布で拭き取り、から拭きをしてください。

メインフィルタ（HEPACF）

• メインフィルタは塵埃の蓄積と共に空気が通過しにくくなり、風速・風量が減少します。
• 1/2になる状態を通常寿命としております。フィルタ目詰表示付スイッチユニットをご使用されない場合、メインフィルタの交換目安は連続運転の場合、一般室内では約1年、ISOクラス7（クラス10,000）の室内では約5年です。

プレフィルタ

• プレフィルタは定期的に清掃してください。

配線図

風量25シリーズ 記号・名称

各部の名称

＜風量1シリーズ＞

＜風量3～シリーズ＞