クリーンルーム環境で使用するLCA（ローコストオートメーション）装置の機構部の配置構成は、次の2つの知識を重視して設計します。

  1. 局所クリーン環境の形成タイプとLCAの関係で考える。
  2. コンタミネーションによる弊害を避けたい作業領域に対して、クリーン化三原則を成立させる。

　ここでは項目2.について、クリーンルーム用LCA装置の配置構成を解説します。

クリーンルーム用LCA装置の配置構成とクリーン化三原則

（1）コンタミネーションを持ち込まない

  • 動きを持つLCAからは必ず発塵します。プロセスコア（作業領域）にコンタミネーションを持ち込まない配置構成がLCA機構設計のポイントです。
  • コンタミネーションは気流と重力（自然落下）により持ち込まれるため、この影響をさける機構配置を考える。
    ■例
    a）
    駆動部からは摩耗による発塵や潤滑油の飛散などが生じます。これらはある程度重たいコンタミネーションのため重力による下に落下します。クリーンなプロセスコアを得るには駆動部系はプロセスコア部より下に配置します。（ウォーキングビーム搬送機構の場合など（【図1】参照））
    b）
    247_ph1.gif

    加圧乱流型の簡易クリーン設計の場合は、コンタミネーション発生箇所の近くに排気口を設けたり（【写真1】）、機構部全体をカバーして局所排気（【図2】参照）の処理を行う。

図1

図2

（2）コンタミネーションを出さない

  • この項目は、配置構成よりも選定材料の関連が強い。

（3）コンタミネーションを堆積させない

  • ワーク（基板など）に付着・堆積しにくい治具方向の構造と配置とする。
    ■例
    a）
    ワークを裏返しに保持する治具、垂直に保持する治具など
    b）
    ワーク上面に気流の澱みを造らない（【図3】）
  • 清掃効果を上げるため、気流の流れに対し発塵させる機構ユニットを分散配置させずに、気流の下流域に集中的に配置させる。

図3