ここではクリーンルームの環境測定として、クリーン度の評価基準となる浮遊微粒子の測定と、LCA（ローコストオートメーション）装置などが周辺に与える汚染状態を評価する表面汚染測定法について解説します。
（1）浮遊微粒子の測定方法
クリーンルームのクリーン度は浮遊微粒子の数量で表現します。この計測にはISO規格に定められた測定法があり、この測定法で計測されたクリーン度で表現します。クリーン度の規格は、[1] 米国連邦規格 FS 209E-1992、[2] JIS B 9920-1989規格、[3] 国際標準規格ISO 14644-1の3種類があります。主には [3] のISOが採用されます。
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（2）表面汚染測定法
クリーンルームで使用するLCA自動機等を設計製作する担当エンジニアは、LCA自動機自体がどの程度の汚染を周囲に生じさせているかを知ることは重要です。次表の方法で簡単に測定できます。
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