コンタミネーション量測定技術（クリーンルーム対応LCA：ローコストオートメーション-12） | 技術情報

　ここではクリーンルームの環境測定として、クリーン度の評価基準となる浮遊微粒子の測定と、LCA（ローコストオートメーション）装置などが周辺に与える汚染状態を評価する表面汚染測定法について解説します。

（1）浮遊微粒子の測定方法

　クリーンルームのクリーン度は浮遊微粒子の数量で表現します。この計測にはISO規格に定められた測定法があり、この測定法で計測されたクリーン度で表現します。クリーン度の規格は、[1] 米国連邦規格 FS 209E-1992、[2] JIS B 9920-1989規格、[3] 国際標準規格ISO 14644-1の3種類があります。主には [3] のISOが採用されます。

浮遊微粒子の測定法	測定原理
1）顕微鏡法	吸引ポンプでクリーンルーム内の空気を吸引し測定試料上に捕集した微粒子サイズを顕微鏡で測定する
2）光散乱式自動粒子計測器法	0.5μm以上のクリーンルーム内の微粒子を光散乱式粒子計測器に取り込み、サイズと数量を自動計測する

【図1】光散乱式自動粒子計測器法（クリーンルームハンドブックより）

（2）表面汚染測定法

　クリーンルームで使用するLCA自動機等を設計製作する担当エンジニアは、LCA自動機自体がどの程度の汚染を周囲に生じさせているかを知ることは重要です。次表の方法で簡単に測定できます。

表面汚染の測定法	測定原理
1）顕微鏡観察法-1	きれいなガラスやシリコン基板をLCA装置の近くなどの定点観察場所に一定時間さらした状態で落下汚染物を捕集し、顕微鏡でサイズと種類を見分ける。必要があれば、成分分析で汚染物の特定も行う。
2）顕微鏡観察法-2	粘着テープをLCA装置の近くなどの定点観察場所に一定時間さらした状態で落下汚染物を捕集し、顕微鏡でサイズと種類を見分ける。