クリーンルーム用LCA装置の機構素材-2（クリーンルーム対応LCA：ローコストオートメーション-9）

　クリーンルーム用LCA（ローコストオートメーション）装置の機構素材の選定はクリーン化三原則の考えに従って行います。なかでも特に、次の2項の対策が重要です。

＊コンタミネーションを出さない
＊コンタミネーションを堆積させない

　次表は、クリーン化三原則とLCA装置の機構部素材との関係を解説しています。

【表1】クリーン化三原則とLCA装置の機構部素材の関係

クリーン化三原則 LCA装置の機構部素材 解説
コンタミネーションを持ち込まない
↓
装置搬入時の持込み対策
＊ 構造部材との関係は少ない
＊ 装置を搬入する時のコンタミネーション持込みを抑えることが重要
a） クリーンルームに搬入する前に清掃して除去（清掃方法は水拭きなど）
b） 搬入時に結露させないように、装置温度と搬入室温度との温度差を少なくして運び込み
コンタミネーションを出さない
↓
錆、摩耗粉、吸着ガス、他を出さない
＜構造部材＞
a） 耐食性を持つ金属、表面処理材料
b） 表面処理で耐食性を得る
c） 電解研磨表面加工品の採用
d） 木材、紙、コンクリートなどの一般建材類は使用しない
＜摺動部材＞
e） 低蒸気圧性グリス類の採用
f） 耐摩耗材の採用
a） ステンレス、アルミ材等で錆を防ぐ、表面処理材で錆を防ぐ
b） めっき（ニッケル、レイデント、他）、表面コート
c） 真空装置用チャンバなどは金属内部からの放出ガスがでない加工品を選定すること
d） 裸の状態では発塵する。経年変化あり
e） 摺動部に採用するグリスは気化されにくいもの（低蒸気圧性グリス類）を選定
f） 摩耗粉の発生を抑える材料・軸受を選定
コンタミネーションを堆積させない
↓
帯電させない

気流を滞留させない		 ＜構造部材＞
a） 導電性材料
b） 導電性表面処理
b） パンチングプレスのSUS鋼板
a） 静電気が帯電しないように導電性材料を採用、併せて、アースを確実にして帯電させないこと（別記事【図4】参照）
b） プラスチック類は帯電防止表面処理品を採用
c） 気流の流れを遮らない鋼板を採用
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