- クリーン環境の原則・規則
- ミスミ商品を用いたクリーン環境対応
ミスミ商品を用いたクリーン環境対応
ヘパフィルタ・ウルパフィルタを用いたクリーンブース設計
- ヘパフィルタ:
- 必要なクラスに応じた風量を算出し、フィルタを選択します。風量(m3/min)x60min=1時間あたりの換気回数 X 空間の容量(m3)ISO・JISクラス5(米国連邦規格クラス100) 全面層流となる風量を選択ISO・JISクラス6(米国連邦規格クラス1,000) 換気回数80回となる風量を選択ISO・JISクラス7(米国連邦規格クラス10,000) 換気回数50回となる風量を選択ISO・JISクラス8(米国連邦規格クラス100,000) 換気回数20回となる風量を選択
- ウルパフィルタ:
- 全面層流となる風量を選択※換気回数によるクラスの定義は、あくまで目安です。パーティクルカウンタを使用し、実測値に基づきクラスの定義をされることをおすすめします。