真空機器
アネスト岩田株式会社「世界初、オンリーワンの製品でナンバーワンを目指す」
アネスト岩田株式会社 創 業 1926年 資本金 33億5,435万円 従業員 1,624名（グループ総数）※2018年3月時点 取材地 アネスト岩田本社・福島工場 進化！のポイント 世界初を生み出す開発技術力 高い生産性と迅速なカスタマー...
赤田工業株式会社「熟練の職人技で高品質な真空製品をオーダーメイド」
赤田工業株式会社 設 立 昭和39年8月11日 資本金 1,000万円 従業員 46人（男34名 女12名）※平成30年8月現在 取材地 赤田工業本社工場 進化！のポイント 一品から受注し、最適な真空製品に仕上げる 高度な職人技と厳密な品質...
真空ポンプの種類と特長
真空ポンプ（ドライ式） 真空ポンプ（油回転式） 真空ポンプ（ドライ式） 空気を吸い出して真空状態を作る装置です。 特長 油を使用していないので、クリーンな真空状態を得ることができます。油回転式に比べ圧力は低いです。 食品機械…袋詰めなど 一...
フランジの種類と特長
フランジ フランジ（ブラインドタイプ） フランジ（ねじ込みタイプ） フランジパッキン フランジパッキン（食品用） フランジ パイプとパイプを接続するために使われる必要不可欠な部品です。 パッキンは用途に応じてお選びください。 フランジ（スリ...
真空発生機器の特長と原理
真空発生機器 圧縮空気から真空を発生させる機械です。 特長 工場の圧縮エアを使用し簡単に真空を発生させることができます。 真空パッドを使ってさまざまなワークを吸着搬送することができます。 ワークの吸着搬送などに利用されています。 フロントガ...
ワーク把持-3（自動化ノウハウ編）
概要 工作機械や精密な有機膜印刷装置などでは、1台で複数の基板サイズのワークを加工処理する必要がある。この場合、機械稼働率ロスを最少限にするためワークの把持方式が特に重要となる。ここでは、複数のワークサイズに対応できる真空吸引把持方式を解説...
ワーク把持-2（自動化ノウハウ編）
概要 ガラス基板を加工テーブル上で真空吸引を用いて把持した状態から、真空吸引を開放してガラス基板の把持を解除する時に、ガラス基板を破損する事故が生じる場合がある。この原因は、真空吸引の急激な開放による衝撃が主な原因で、この真空開放を緩やかに...
ワーク把持-1（自動化ノウハウ編）
概要 ガラス基板を加工テーブル上で真空吸引を用いて把持した状態で、印刷や各種の加工を行う場合、真空吸引の箇所で印刷不良や加工不良が生じやすい。この原因とその対策法について解説した。 解説 ・板厚が薄いガラス基板などに色々な溶剤を印刷する場合...
位置決め-10（自動化ノウハウ編）
概要 ガラス基板を加工テーブル上に真空吸引で把持させる場合、ガラス基板自体のそりの影響で、安定して吸引把持できない事故がある。ここでは、そりを持つガラス基板を安定して真空吸引するための生産技術を解説した。 解説 （1）ガラス基板のそりと真空...
位置決め-9（自動化ノウハウ編）
概要 ・精密な位置決めを実現する前提条件の一つとしてワークの確実な把持が必要となる。ガラス基板やシリコンウェハなどの薄板状ワークは機械的な把持機構の採用が難しいためテーブル上面での真空吸引法が多用される。この方式の場合、ワークをテーブルに移...
真空システム
真空システムをどのように構築するかは、その目的によって異なります。その一例として、油拡散ポンプ排気系を【図1】に示します。 運転の手順は、まず「あらびきバルブ」を開いて、油回転ポンプを運転します。あらびきとは、「本びき」も対応した用語で、予...
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真空ポンプ-2
続いて、代表的な真空ポンプについてご紹介しましょう。 （3）ソープションポンプ 冷蔵庫の脱臭剤には活性炭が使われますが、これは活性炭が常温でも悪臭を吸着するからです。しかし空気は吸着してくれません。吸着剤で真空系の空気を吸着するには、液体窒...
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真空ポンプ-1
代表的な真空ポンプについて、ご紹介しましょう。 （1）油回転ポンプ 水ポンプのように、円板状のシェルの中を、弁をもった回転子が回転して、吸気・圧縮・排気を行うもので、擦動部の潤滑に油を使います。大気圧から吸気するので、多くの真空システムで初...
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真空はどうして作る
ドライプロセスを実施するには、真空系をつくる必要があります。真空系は、真空容器、真空ポンプ、真空計などで構成されます。 真空容器は、表面処理するワークの大きさや処理量、成膜する元素・化合物の供給源、電極など、容器内に設置しなければならない装...
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真空装置用材料（LCA：ローコストオートメーションを支える機素材料の基本-23）
真空環境を利用する装置類は、機能薄膜の普及や高純度材料の使用用途の拡大などの理由で、急速に種類が増えています。従来の半導体関連装置やチップ構造の電子部品のほかに、液晶ディスプレイ、PDP表示装置などの材料真空注入装置、EL関連装置など、日本...