概要
ガラス基板を加工テーブル上で真空吸引を用いて把持した状態から、真空吸引を開放してガラス基板の把持を解除する時に、ガラス基板を破損する事故が生じる場合がある。この原因は、真空吸引の急激な開放による衝撃が主な原因で、この真空開放を緩やかに制御することで対策できる。
解説
・ガラス基板自体の軽量化や材料費削減の狙いで、基板の薄板化と大盤化が進む。この傾向の影響もあり、真空吸引と開放の操作時にガラス基板が破損する事故が生じやすくなる。また、生産タクトを短くするために、真空把持と開放の高速化を行う場合もあり、ガラス基板の破損事故に繋がる。ここでは、真空吸引開放の制御によるガラス基板の破損対応策を解説した。
(1)真空吸引開放時のガラス基板破損不良の要因解説
・ガラス基板の真空吸引状態から開放状態に真空吸引を制御する場合、真空開放を急激に変化させると、真空吸引の小さな吸引穴の部分で空気が爆発的に放出されることがある。
・この時の局所的な空気圧と急激な真空解除によるガラス基板への衝撃により、ガラス基板が破損を生じる場合がある。
(2)真空吸引開放時のガラス基板の破損不良の対策
・ガラス基板の真空吸引の制御設計で、真空開放の開放速度を初期は緩やかにし、開放時の衝撃を緩和させる時間を設け、その後に、真空解除を全開にする時間と速度制御を採用することで、真空解除時の衝撃によるガラス基板の破損事故を回避することができる（図1）。
