概要
搬送ローラの配置案と各ローラの摩擦係数の最適配置化により、基板の搬送蛇行を回避し、まっすぐに搬送させる運動制御性の向上が可能となる。
解説
独立3列搬送ローラ機構を用いて搬送の直進性安定化のための機構について解説する。
1)ローラ配置の数と配置案
・1枚の基板を支えるローラ配置点での摩擦力の配置バランスに工夫をこらすことで搬送移動中の搬送運動の安定化向上が可能である。
2)1枚の基板を支える各ローラの摩擦係数の最適配置化
・搬送物を、搬送ライン上をまっすぐに移動させるためには、搬送ための摩擦力が作用する方向をまっすぐに向けさせる必要がある。
・このため、基板のローラ支持点での摩擦係数を変えることで基板の支持点位置が変わった状態でも摩擦力の作用方向を直線状になり易くする考えで各ローラの摩擦係数の最適配置化を考える。
・摩擦力を伝達するゴム製Oリングを装着した搬送ローラと、補助的に基板を支える役割とするため摩擦係数の小さなプラスチック製搬送補助ローラを交互に配置させることで、9点で平面支持し、そのうちの5点ないし4点で摩擦力を伝達できるため安定した搬送が可能。
・Oリングを装着したローラの配置案（図1-Aパターン）は、平板の板厚測定の箇所と一致するものであり、平板支持の基本形といえる。
・基板が搬送ライン上を移動して、Aパターンと異なるBパターン状態の基板とローラ位置の関係を（図1-Bパターン）に示した。
・AパターンとBパターンの2種類のローラ配置により、1枚の基板を安定した摩擦力配置で直線状に移動しやすくなる。
