・液晶ディスプレイなどの場合、1個の素子サイズは数十μｍと微小だが、全体寸法が大きいために数十μｍの素子が膨大な量で配列されている。図１の液晶ディスプレイ素子の場合は数十μｍピッチで微細な パターン加工が全面にほどこされている。
・このような加工の生産技術では、μｍオーダーの位置決めを数十万～数百万個と平面配列可能なＸ－Ｙテーブルの位置決め性能が求められる。
・通常のＸ－ＹテーブルはＸ軸とＹ軸の2本の直進ロボットを直角に組み付けて構成する。
・しかし、Ｘ軸とＹ軸のそれぞれに採用されているパルス発生器には、製品SPEC.内の性能バラツキがあり、このパルス発生タイミング誤差がμｍオーダーの繰り返し位置決め精度に累積誤差として現れてくる（図2，3）。
・1個、1個の誤差はnm（ナノ）メートルオーダーとしても、人間の目で識別すると不揃いの度合いが不均一なムラとして見えてくるため加工品は不合格となる可能性が高い。
・対策として、1個のパルス発生器ですべての位置決め用直進ロボットのパルスタイミングを制御させる回路設計を採用した（図4）。
注意点など
・当然、直進ロボットの直進精度や、位置決め用スケールなども求められる位置決め精度に適合するレベルを採用しなければ効果は得られない。