・エッチング加工で位置決め穴が形成されたものとして、フレキシブルなバネ性を持つ薄いステンレスシートなどがある(図1,2)。
・エッチング加工は、半導体プロセスを応用するためある程度の長さを持つフープ状のものに精密な位置決め基準穴を形成できる。
・この位置決め基準穴は、ピッチ精度は安定した高精度が得られるが、位置決め基準穴の形状はエッチング処理工程のバラツキ(エッチング液劣化状態、温度、その他)により穴径の多少の変動と内径淵の断面状態の変化が避けられない(図3)。
・穴径の変動の影響を避けるには、画像処理法を用いた非接触式位置決め方式が最も好ましいが装置投資が大きくなる欠点がある。
・位置決めピンの先端形状の選定と位置決めピンを上下にスライドできる構造とすることで、位置決め基準穴を用いて治具による位置決めを安定して実施できる(図4、5)。
注意点など
・位置決めピンを用いる場合は、治具基準面とエッチング加工されたシート底面との間に隙間がない状態に平面位置決めした状態で他の部品との位置決めを行う必要がある。