XYステージ

アリ溝式ステージ

• ●移動量読み取り
  • ●移動量の読み取りはバーニア目盛にて行ないます。
  • ●バーニア目盛の読み取り方は以下の通りです。
    1. （１） ○A の目盛の0の位置○Cを○B の目盛で1mm単位で読む。
       （右図の場合23mm）
    2. （２） ○A の目盛をみて○B の目盛と同一位置にある目盛○Dを読み、それを0.1mm位の数値とする。
       （右図の場合0.6mm）
    3. （３） （１）と（２）の合計がその値となる。（右図の場合23.6mm）

       

• ●Ｚ軸耐荷重について
  • ●アリ溝式ステージのラック＆ピニオンタイプは、Z軸のように立てて使用する場合、Z軸がズリ落ちてくるという問題があります。
    出荷時の始動荷重は0.5kgf～1.0kgfです（使用頻度により始動荷重は変化することがあります）。
  • ●一度位置を設定したあとは、クランプにてステージを固定するようにしてください。
  • ●固定した場合、ズリ落ち量を数μm以下におさえることができます。
  • ●クランプを強化したい場合には別売のレバー付クランプねじ（STRONG：）をご利用ください。
    （適用ステージは必ずご確認ください。）

リニアボール式ステージ・クロスローラ式ステージ（共通）

• ●ガイド方式

  

  ●ステージ面とガイド部が一体構造になっています。その為クロスローラガイドよりも薄型・高強度・高剛性で精度が格段に向上しています。

  ●SUS440C、無電解ニッケルメッキ（シルバー）に加え黒色仕様（低温黒色クロムメッキ）を追加しました。（）

  

  
  ●ノック穴付クロスローラ式ステージ（）を追加しました。ステージ本体の位置出し、上にのせるワークの再現性が確保できます。
• ●取付方法
  取り付けは、ステージ面を移動させ取り付けます。下記イラストをご参照ください。

  ●X軸ステージ取り付け方法
  イラストのようにステージ面を前方、後方へ移動させると取り付けできます。
  
  

  ●XY軸ステージ取り付け方法
  X軸ステージと同様に取り付けます。
  
  
• ●品質について
  • ● 真直度

    直動ステージの理想移動軸に対しどれだけ蛇行して移動しているのかを表しています。
    理想移動軸（直線）よりの水平方向と垂直方向のずれの複合値の最大値を真直度の品質規定としております。

• ●ピッチング・ヨーイング
  ステージのピッチング・ヨーイングに関しては、オートコリメータにてステージのフルストロークを測定し、その最大値を品質規定としております。
  ピッチング：ステージが移動中にステージ面が上下に傾いて移動する
  （θyの角度で表示）
  ヨーイング：ステージが移動中にステージ面が左右に傾いて移動する
  （θzの角度で表示）
  ピッチング
  
  

  ヨーイング
  
  
• ●平行度

  X軸ステージの平行度として（１）下面に対する上面の平行度を右図（ａ）の方法にて、（２）運動の平行度を右図（ｂ）の方法にて、テストインジケータ（ダイヤルゲージ）で測定します。

  （１）に関しては0.03mm以下の平行度となっています。

  （２）に関しては0.01mm以下の運動平行度となっています。

  

• ●XY直交度

  XY直交度に関しては各ステージの仕様表に明記してありませんが、直交軸のずれの最大値をストローク13mmあたり0.01mm以下と規定しています。