手動ステージ
※1 リニアボール・クロスローラで送り位置、クランプ方式、グリース変更を希望される場合はのフリーステージをご利用ください。
自動ステージ
機構 | 送り方式 | 軸 | カタログ ページ |
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1軸 | 2軸 | 多軸 | |||||||
X | Z | XY | XZ | XYZ | 他 | ||||
直動 | リニアボール | ボールねじ | ○ | ○ | ○ | − | − | − | |
クロスローラ | ○ | − | ○ | − | − | − | |||
回転 | 深溝玉軸受 | ウォームギヤ | ○ | − | − |
取付部の面精度について
ステージの下面または上面に取付ける部品の平面度が不十分な場合、ステージ本来の性能が発揮できない場合があります。
アリ溝式ステージ
- ●移動量読み取り
- ●移動量の読み取りはバーニア目盛にて行ないます。
- ●バーニア目盛の読み取り方は以下の通りです。
- (1) ○A の目盛の0の位置○Cを○B の目盛で1mm単位で読む。
(右図の場合23mm) - (2) ○A の目盛をみて○B の目盛と同一位置にある目盛○Dを読み、それを0.1mm位の数値とする。
(右図の場合0.6mm) - (3) (1)と(2)の合計がその値となる。(右図の場合23.6mm)
- (1) ○A の目盛の0の位置○Cを○B の目盛で1mm単位で読む。
- ●Z軸耐荷重について
リニアボール式ステージ・クロスローラ式ステージ(共通)
- ●ガイド方式
- ●取付方法
取り付けは、ステージ面を移動させ取り付けます。下記イラストをご参照ください。●X軸ステージ取り付け方法
イラストのようにステージ面を前方、後方へ移動させると取り付けできます。
●XY軸ステージ取り付け方法
X軸ステージと同様に取り付けます。
- ●品質について
- ● 真直度
直動ステージの理想移動軸に対しどれだけ蛇行して移動しているのかを表しています。
理想移動軸(直線)よりの水平方向と垂直方向のずれの複合値の最大値を真直度の品質規定としております。
- ● 真直度
- ●ピッチング・ヨーイング
ステージのピッチング・ヨーイングに関しては、オートコリメータにてステージのフルストロークを測定し、その最大値を品質規定としております。
ピッチング:ステージが移動中にステージ面が上下に傾いて移動する
(θyの角度で表示)
ヨーイング:ステージが移動中にステージ面が左右に傾いて移動する
(θzの角度で表示)ピッチング
ヨーイング
- ●平行度
X軸ステージの平行度として(1)下面に対する上面の平行度を右図(a)の方法にて、(2)運動の平行度を右図(b)の方法にて、テストインジケータ(ダイヤルゲージ)で測定します。
(1)に関しては0.03mm以下の平行度となっています。
(2)に関しては0.01mm以下の運動平行度となっています。
- ●XY直交度
XY直交度に関しては各ステージの仕様表に明記してありませんが、直交軸のずれの最大値をストローク13mmあたり0.01mm以下と規定しています。