ダイヤモンド状カーボンとは、Diamond Like Carbon （DLC）のことで、ダイヤモンドとよく似た特性をもつ炭素膜であります。成膜法は、【表1】に示すとおり多くの成膜法がありますが、これらの特徴は、様々な方法で生成した炭素イオンを常温に近い低温で基材に叩きつけて成膜することで、成膜時にとくに加熱を必要としないことです。
また、膜の諸性質は、成膜法により大きく異なりますが、共通的な特徴は、摩擦環境に関係なく摩耗係数が小さいことです。しかも、相手材の影響を殆ど受けないことが大きな特徴です。
【表1】DLC膜の生成方法
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DLCの特徴をまとめると、【表2】のようになります。
【表2】ダイヤモンドライクカーボンの特徴
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