概要
工作機械や精密な有機膜印刷装置などでは、1台で複数の基板サイズのワークを加工処理する必要がある。この場合、機械稼働率ロスを最少限にするためワークの把持方式が特に重要となる。ここでは、複数のワークサイズに対応できる真空吸引把持方式を解説する。
解説
薄板状ワークの切削加工機や、ガラス基板の有機膜印刷装置などでは、真空吸着によりワークを把持し、加工が成される。この場合、把持されるワークサイズが変わると、真空吸引溝が開放状態となり真空吸着ができなかったり、吸着力が足りなくなるなどの問題が生じる。吸着テーブルを交換する方式では、精度上の問題と装置の解体調整を要すため、機械停止時間のロスが大きくなる。
・真空吸引用溝のデザインは多様だが、真空吸引のための基本的な構造はほとんど同じで、真空吸引溝の底部に真空吸引用穴が施されている（図1）。
・この真空吸引溝の底面に設けられる真空吸引穴をタップ付穴に変え、真空吸着把持するワークサイズに応じて、使用しない部分の真空吸着穴をねじでふさぐことで真空吸引のエアー洩れを防ぐことができる。
・この真空吸引穴をふさぐためのストッパねじに密封作用を持たせるためにゴム製Ｏリングが装着できるストッパ形状を持たせることで、真空洩れを完全に防ぐことができるようになる（図2）。
・ワークサイズを切り替える前段階で、手作業で真空吸引穴をゴム製Ｏリング付ストッパねじで塞ぐことで、色々なワークサイズの真空吸引把持が可能となる。
