接着性能を確実に得るには、接着面の汚れ(加工液残渣、指紋、フラックス、吸着ガスなど)を除去しなければなりません。そのために、接着剤を塗布する前に接着面を洗浄するのが一般的です。ここでは、洗浄プロセスの基礎と洗浄プロセスのLCA(ローコストオートメーション)を実現するための洗浄用ワークホルダの構造を解説します。

(1)洗浄プロセスの基礎

 洗浄プロセスは、次の3プロセスで出来ています。

  洗浄プロセス = 洗浄 + すすぎ(リンス)+ 乾燥

基本プロセス 解説 LCAハード
洗浄
・ 下記の2つの作用で汚れを除去する
*化学的作用
 洗剤を用いて付着汚れを分離させ、かつ再付着させない
*物理的作用
 超音波や噴射のエネルギーを利用して 付着汚れを分離させる
・超音波洗浄器
・浸漬洗浄器など
・ワークホルダ
すすぎ
(リンス)
・ 洗浄で分離除去された汚れをワーク(被洗浄物)に残さないように除去する
・上記ハードを共用
乾燥 ・効率的にワークを乾燥させる ・上記ハードを共用

(2)洗浄プロセスのLCAのキーポイント

 効果的な洗浄プロセスのLCA実現のキーポイントは、ワークホルダ形状です。ワークホルダの設計に次の機能を盛り込むことで、洗浄プロセスの品質とコストをハイレベルに実現できます。

  1. 洗浄の効果的な物理的作用を実現させるために、エネルギーを減衰させない形状
  2. 洗浄の効果的な化学的作用を実現させるために、液体の流れを遮らない形状
  3. 汚れを再付着させないために、液体(洗浄液、リンス液)の持ち出しが少ない形状
  4. 短時間に清浄に乾燥させるために、液体の溜りが少ない形状
  5. その他(安価、洗浄液と反応しない、小型・軽量)

(2)洗浄用ワークホルダ設計の勘所

 上記の機能を持たせるための勘所は下記です。ワークホルダの参考図(【図1】)を参照ください。

洗浄用ワークホルダ設計の勘所 2)の機能との関連
ワークの保持は点接着または線接着とする 3、4
ワークの洗浄面全体を覆わない外形形状 1、2
成形法やエッチング法で複数個の調達を低価格化 5

【図1-a】洗浄用ワークホルダの例(ガラス基板洗浄用)

【図1-b】微小ワークの洗浄用ワークホルダ保持構造例