概要
ガラス基板の搬送挙動の安定化のための機構設計のポイントは、搬送ローラにかかる基板重量の安定化と搬送ローラ接触点での摩擦係数を大きく、かつ安定化させることである。
解説
1)ローラ搬送の原理原則
・ローラ搬送の場合、搬送機能の原理は搬送物を移動させる摩擦力の制御である。
・即ち、搬送用駆動モーターの回転力が搬送ローラに伝達され、この搬送ローラにかかる基板の重量と搬送ローラの摩擦係数により接線方向に摩擦力が生じ、その反力で基板は搬送される(図1)。
・したがって、基板と搬送ローラの接触点で安定した搬送の摩擦力を生じさせる機構設計が原則として要求される。
2)ローラ搬送の原理安定化
・ローラ搬送による基板搬送の安定化には、次のことが重要となる。
・1.の機構側の対策として、搬送ローラ数を多くして基板変形の影響を小さくし、各ローラにかかる基板重量を安定化させること(図2)
・2.の機構側の対策として、搬送ローラ外周に摩擦係数が大きな部材(例:ゴム)を取り付けること(図3)。
・この場合、搬送ローラ外周に取り付けた摩擦部材の交換が簡単な形状であることや、交換部材が汎用品であることなどが望ましい。
・例えば、ゴム製Oリングやウレタンゴムなどが採用できる。ミスミFA部品のローラにも標準部品として商品化されている。