精密アクチュエータステージの構造とは（メカ設計者のためのメカトロ講座精密搬送編1「精密アクチュエータステージの構造」①）

① 精密アクチュエータステージとは？

FAと呼ばれる自動化生産ラインにおいて対象ワークは各装置内・各装置間で精密に位置決め・搬送されなければなりません。

そこで、各装置間のワーク受け渡しポイント（アライメント・エリア含む）や、
各装置内におけるワークに対して仕事をするポイント（ステーション）では、
精密“位置決め”ステージというモジュールが多用されています。

また、自動ハンドリングを目的として、各ポイント間（各ステーション間）のワーク移載には、
精密“搬送”ステージと呼ばれる単軸アクチュエータを複数組み合わせた直交ステージが一般的によく用いられています。

以前は、その精密アクチュエータステージ自体も用途毎・装置毎に設計されていましたが、
現在では、ミスミで取り扱っているようなさまざまなメーカー製品がラインナップされており、
その時々の求められる仕様に合う精密アクチュエータステージを選定・購入することが可能となっています。

また、精密アクチュエータステージのモジュール形態としては、“直交2軸：XY型”が一般的です。

ちなみに、用途に応じて、上下動作を追加した“直交3軸：XYZ型”や、XY平面上での回転動作を追加した“計3軸：XY-θ型”も存在します。
（計4軸となるXYZ-θ型というタイプも稀ですが使用される場合があります）

実際の自動化装置に搭載される、これら精密アクチュエータステージの駆動源には、
一般的には使用目的に応じてステッピングモーターあるいはサーボモーターが用いられます。
（※駆動源や駆動方式については、次項で詳しく説明します。）

モーター・ヘッド部の回転型エンコーダにより非常に微細な分解能が得られ（～20ビット）、
それによって精密な位置決め・搬送を可能としています。