国内製造業の高付加価値化へのシフトや、ppmオーダー以上の高品質が通常で要求される背景などから、コストパフォーマンスの高い、即ち低投資で高機能なクリーン化ニーズが非常に高まっています。同様に、各種グレードのクリーンルームで使用される設備や備品類のクリーン化対応も要求されています。
（1）クリーン化対応設計に必要な要素技術
クリーン環境を作り出し維持するための原則は次の3つです。
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それぞれの原則をLCA（ローコストオートメーション）機構で形成させ、維持するための主な要素技術は次のようになります。
【表1】クリーン化三原則を構成する主な要素技術
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