ドライプロセスでは、金属の薄い膜をつくるのに幾つかの方法があります。通常この膜を「薄膜（はくまく）」といっています。はっきりとした定義がある訳ではないのですが、膜の厚さは、大体1μm以下のもので、ナノメータ単位の薄膜の作製も可能であります。 　薄膜をつくるには、まず、薄膜となる材料を気化して蒸気にすることが必要であります。これを「気化源（ソース、蒸発源ともいう）」といいますが、...

概要 搬送ローラ機構のローラ部配置案（3種類）を比較して、ローラ搬送方式の特徴解説を行った。この事例より、搬送機構設計の検討課題に対する駆動方式選定の実践力を向上できる。 解説 1)ローラ搬送機構の設計への応用 ローラ搬送機構は、搬送ローラ部とそれ以外の機構部で構成されるが、ここでは3種類の搬送ローラ配置案（図1）について解説する。 A)案・・独立した2列の搬送ロ...

　真空容器内に、基板とターゲットとなる金属を対峙させ、真空にしてから、少量のアルゴンガスを導入し、基板（＋）と金属（−）間に直流電圧を印加すると放電が起こります。この放電によってアルゴンはイオン化して金属に衝突します。すると金属から金属原子やイオンが叩き出されて基板上に堆積します。この方法は直流スパッタリングと呼ばれますが、次のような方法があります。 （1）直流スパッタリング...

導電性コンテナ 導電性折りたたみコンテナ 導電性コンテナ プリント基板・電子部品・液晶などを静電気破壊から守ります。 特長 精密部品の保管や輸送コンテナとして使用します。表面抵抗値106Ω/cm以下なので、静電気破壊およびホコリの付着を完全防止できます。 半永久的に導電性を保持します。 衝撃に強く耐食性に優れています。 段...

概要 ・精密な位置決めを実現する前提条件の一つとしてワークの確実な把持が必要となる。ガラス基板やシリコンウェハなどの薄板状ワークは機械的な把持機構の採用が難しいためテーブル上面での真空吸引法が多用される。この方式の場合、ワークをテーブルに移載した時点での薄板ワークの平坦状態で真空吸引が効かない場合がある。採用ワークの平坦精度の規格化、または、機構的にワークを押し付けて真空吸引する対応で安...

　家電製品を初めとして電子制御を必要とする商品には何らかの電子回路基板（【写真】）が付いています。 　この電子回路基板を例に人作業と自動化と品質について解説します。 ・組立産業が日本から海外に進出した時代に、日本では実装機による自動化が実現できていたにもかかわらず、海外での電子回路基板の生産方式は多くの作業者をライン状に並べて手作業で処理させた時代がありました。 ・この時代は海外...

　クリーンルーム内の環境に限らず、静電気が原因となる帯電/放電による製品破壊（静電破壊）などのトラブルが生じる場合、生産設備面で対策が求められます。以下では、静電気による帯電/放電のトラブルとLCA（ローコストオートメーション）設備における対策の考えを解説します。 （1）静電気による帯電/放電のトラブル 　装置上では、部品や半製品がテーブル上に設置されて組立、調整、検査などが行われ...

グラインダー用研削砥石 ドレッサホルダ（ドレッサハンドル） ゴム砥石ディスクタイプ 軸付ゴム砥石 グラインダー用研削砥石 卓上（両頭）グラインダーに取り付けて、主に金属を研削します。 特長 両頭グラインダー・ポータブルグラインダーを使用し、ワークを手で持って加工します。バリ取り、粗加工、工具の再研磨などで使用されます。 精...

はんだ吸取器 はんだ吸取線 はんだ吸取器 部品の取り外しや余分なはんだを溶かして吸い取り、除去する工具です。 プリント基板上の部品の取り外しをする際などに、はんだを熱して溶かして吸い取ります。 はんだこてについて 電気はんだこて/ステーション型はんだこて » コードレスはんだこて » はんだ吸取線 表...

　ここではシリコンウェハ（円形薄板）、回路基板（矩形薄板）を例に、位置決め方法の決め方を紹介します。 （1）位置決め方法の決め方のヒント 　次の項目を適切に選定することで、多様なワークについて位置決め方法を決めることが可能です。 a） ワーク材料や商品の特徴を理解して、位置決めピン/ガイドの材料と形状を選定する 例：硬い、...