化学打抜きに用いられるエッチング液（腐食液）は、金属材料や要求される加工速度などによって種々の組成と温度が用いられています。主な材料に対するエッチング液の組成とその条件の一例を【表1】に示しました。

【表1】化学エッチングに用いられるエッチング液

材料 組成 液温（℃） 加工速度
（mm/分）
Alとその合金 NaOH（150-180ｇ/ℓ）+Al（6-20g/ℓ） 70-80 0.018-0.025
FeCl3（120-180g/ℓ） 50 0.025
HCl（50vol%）+HNO3（5vol%） 50 0.025-0.05
FeCl3（30Be,3.8ℓ）+HCl（38%,34mℓ） 45 -
Cuとその合金 FeCl3（30-40g/ℓ） 50 0.025-0.05
（NH4）2S2O8（8-16g/ℓ） 32-50 0.013-0.025
CuCl2（30-35g/ℓ） 55 0.013-0.015
CrO3（22-30g/ℓ） 50 0.025-0.035
クロムCr FeCl3（42Be,2vol）+HCl（38%,1vol） 80 -
HCl（38%,3vol）+H2O（7vol） - -
金Au HCl（75vol%）+HNO3（25vol%） 32-38 0.025-0.05
NaCN+H2O2 - -
Mg HNO3（12-15vol%） 32-50 0.025-0.05
Mo H2SO4（25vol%）+HNO3（25vol%） 55 0.025
HNO3（30vol%）+HCl（30vol%） - -
Niとその合金 HNO3（48vol%）+H2SO4（5.5vol%）+H3PO4（11vol%）+HC2H3O2（5.5vol%） 43-50 0.025
FeCl3（34-38g/ℓ） 50 0.013-0.025
HNO3（1vol）+HCl（1vol）+H2O（3vol） - -
銀Ag HNO3（50-90vol%） 38-50 0.013-0.025
Fe（NO3）3（30g/ℓ） 55 0.020
CrO3（40g/ℓ）+H2SO4（20mℓ）+H2O（2ℓ） - -
鉄鋼 HNO3（20vol%）+H2SO4（5vol%）+H3PO4（5vol%） 57-70 0.018-0.025
FeCl3（34-38g/ℓ） 50 0.025
HNO3（10-15vol%） 50 0.025
ステンレス鋼 HCl（50vol%）+HNO3（5vol%）+H3PO4（2.5vol%） 65 0.01
FeCl3（34-38g/ℓ） 65 0.02
錫Sn FeCl3（34-38g/ℓ） 55 -
Ti HF（10-50vol%） 30-50 0.013-0.025
材料 組成 液温（℃） 加工速度
（mm/分）