クリーン排気ユニット

クリーン排気ユニット

クリーンルーム内で使用される機器・装置などにおいて、駆動部等の発塵部位に取り付け、塵埃を積極的に除去排気し、汚染を低減するユニットです。

特長

• 小型軸流ファンと低圧損準ヘパフィルタの組合せで、0.3μmの微粒子に対し95％以上の捕集率があります。
• 小型でいろいろな場所に取り付けができ、非密閉型機器の発塵に対応できます。

ワーク搬送装置やロボットなど発塵がおこる機器に取り付けることで、局所排気ダクトを使用せずにクリーンルーム内へ直接排気ができます。
また、制御盤の熱排気用ファンを同風量のクリーン排気ユニットに取り替えることで、クリーンルーム対策となります。

準ヘパの規格

独自規格で、定格流量で粒径0.3μmの粒子に対して95％以上の粒子捕集率を持つフィルタを準ヘパフィルタと呼びます。

清浄度について

粒径0.3μmの粒子に対して、発塵源の粒子濃度を1/20以下にして排気します。

清浄度は単位体積当たりに含まれる基準粒径の数で示されますが、クリーン排気ユニットを設置することで粒子濃度が20倍以下の発塵源に対して洗浄度を保ちます。規格により、基準粒径と単位体積が異なるので注意が必要です。ミスミのクリーン排気ユニットの対象範囲を下表の青色部で示します。半導体分野の一部では規格として0.1μm個/ft3が用いられます。

保守・点検

クリーン排気ユニットは準ヘパフィルタとファンで構成され、どちらも消耗部品となります。おおよそ3～5年で交換してください。

準ヘパフィルタ

フィルタは目詰まりにより風速・風量が減少し、1/2になる状態を寿命としております。
使用環境によっては3年以内に寿命に達する場合もあります。

ファン

回転異常や異音発生時はファン寿命が考えられます。速やかに運転を止めてください。

各部の名称

接続図

高電圧を印加すると焼損する可能性があるため、ヒューズなどで保護してください。
アース用タップがファン本体にありますので、接地配線をしてください。

使用環境

• 周囲温度：−10～60℃
• 周囲湿度：90％以下（結露しないこと）
• 直射光があたらないこと
• 連続的な振動・衝撃が加わらないこと
• 浮遊粉塵以外の塵埃が入らないこと