精密測定の場合の測定物の設置基準面について（ここでは加工の解説は省略）
- 精密測定用基準面は、測定するセンサ（顕微鏡の対物レンズ、センサ位置など）の位置で、XYZ軸と傾き精度が維持されている必要があります。
- 精密な測定精度を得るために、測定センサやワークの移動に対し、精度劣化が極力生じない様に重量バランスの良いワークホルダの支持点配置がされています。（【写真1】3点支持）
- 簡易位置決めテーブルを用いて、傾き調整を付加させて対応する場合もあります。（【写真2】【写真3】）
- ダイヤルゲージスタンドなど、センサを取り付けて移動させるツールでは、次の理由でスタンド底面の四隅を基準面として、その他は逃がしています。（【写真4】）
（1）重量バランス
（2）摩擦抵抗を小さくする
（3）平坦度誤差の影響を回避
