（1）クリーンルームとは
クリーンルームは、高性能エアーフィルタ（HEPAフィルタ、ULPAフィルタ）で空気中の浮遊微粒子を除去した空気を室内に供給されている室です。室内圧力を高く（正圧）することで、外部からの浮遊微粒子の侵入を防止します。
（2）クリーンルームの種類
クリーンルームの種類は、気流の流れ方で分類すると、次の3つがあります（【図1】参照）。
|
（3）局所クリーン化について
クリーンルームの中でも、特に作業域は高い汚染制御が必要となるため、必要な空間を局所的に高いクリーン環境にする考えが局所クリーン化です。次の2種類が主な局所クリーン化の構成要素で、部屋全体をクリーン化する従来の考えに対し、必要な部分に必要なクリーン環境を実現させる思想です。
|
（4）標準的なクリーンルームの例
標準的なクリーンルームの例を【図2】に示しました。クリーンルームは、そこで行う作業に対し高い汚染制御が出来るよう、入口側から順にクリーン度（清浄度）を良くしてゆきます。また、作業の種類別（作業域、設備設置域、メンテナンス域、通路、準備室、他）にレイアウト設計がされます。
