アルバック 真空ポンプ

【特長】・ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モーターを採用しています・低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです・大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています・メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです【用途】・蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置・分析機器、リークテスト装置・真空乾燥、ガス置換など各種真空装置

【特長】･ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。･接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。･サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。･シンプル構造でメンテナンスも容易です。【用途】･吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。･分析機器、理化学機器。･半導体検査装置。･デバイス組立。･自動機、包装機。

【特長】・油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

【特長】・油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

【特長】・ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。・接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。・サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。・シンプル構造でメンテナンスも容易です。【用途】・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。・分析機器、理化学機器。・半導体検査装置。・デバイス組立。・自動機、包装機。

【特長】・油回転真空ポンプ用のオプション吸気管です・PTネジタイプの吸気管となります

【特長】・ダイアフラム型ですので無音無震動です。・100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。【商品仕様】・型番：DA-30D・吐出空気量：30/36(L/min)・排気速度(L/min)：30/36・到達圧力(kPa)：6.7・吸気口径(OD)×(ID)mm：9×5・サーマルプロテクター内蔵・電源：100V 50/60Hz・サイズ(mm)：212×278×224.5・重量(kg)：11・接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミダイキャスト、吸排気弁/SUS、ダイアフラム/NBR(ニトリルゴム)

【特長】・油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

【特長】・ダイアフラム型ですので無音無震動です。・100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。【商品仕様】・型番：DA-121D・排気速度(L/min)：120/145・到達圧力(kPa)：3.3・吸気口径(OD)×(ID)mm：・サーマルプロテクター内蔵・電源：100V 50/60Hz・サイズ(mm)：207×411×285・重量(kg)：26・接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミ鉱物、バルブ/PTFE(四フッ化エチレン)、ダイアフラム/EPDM(エチレンプロピレンゴム)

【特長】･ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。･モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。【用途】･理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。･真空排気装置、電子顕微鏡のバック。･半導体製造装置。･真空蒸着装置、凍結乾燥器。･医療用機器全般。

【特長】・低音低振動で精密工作仕上げのため極小です。・ベルトレスでモーター直結のため装置への組み込みが容易です。【商品仕様】・型番：G-20DA・タイプ：二段式・排気速度(実効)(L/min)：20/24(50/60Hz)・到達圧力(Pa)：1.3×10^-1(1×10^-3^Torr)・電源(V)：単相100・吸気口径(OD)×(ID)mm：18×14(M20×P1)・使用オイル：SMR-100(付属)・オイル量：180mL・サイズ：56×299.5×199.5mm・重量：9kg・小型直結型・※ポンプの吸気管内径より小さな吸気管を使用すると、実効排気速度が多少減少する事があります。

【特長】・サーマルプロテクター内蔵です。・ケミカルタイプで接ガス部にETFE・PTEE(四フッ化エチレン)・PP(ポリプロピレン)を使用しています。【商品仕様】・型番：DTU-20・排気速度(L/min)：20/23(50/60Hz)・到達圧力(Pa)：200・電源：AC100V 50/60Hz・消費電力：80W・吸・排気口径：O.Dφ10×I.Dφ6mm(Rc1/8)・サイズ(mm)：161×327×217・重量(kg)：7.5

【特長】・ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです・修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

ガスバラストバルブや強制給油機構などを搭載した、油回転真空ポンプのシリーズです。【特長】・Gシリーズの性能をさらに追求し、静音性、安全性、機能性を高めたモデルです。・ガスバラストバルブ、強制給油機構、油の逆流防止機構を装備しています。・ガスバラストバルブにより、吸引する気体中の水分などを除去し、ポンプ油中に溶解することを防ぎます。・小型なので省スペースでの設置が可能です。・低騒音、低振動かつ低消費電力です。【用途】・製造装置や分析装置の真空排気、真空乾燥、部品の真空吸着など、幅広い真空用途に。

真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止を行う、ゲーデ型の油回転真空ポンプです。【特長】・モーター直結型のため、ベルト方式に比べて高速回転が可能で、小型で大きな排気速度が得られます。・真空ポンプ油を使用することで、安定した高真空を得ることが可能です。【用途】・部品の真空吸着、搬送、固定。・樹脂の脱泡や真空乾燥などのプロセス。・分析機器や実験装置内での真空環境の構築。

固定された渦巻き型の壁（固定スクロール）と、それに対面して偏芯運動する渦巻き型の壁（従動スクロール）によって真空排気を行う、スクロール型ドライ真空ポンプのシリーズです。【特長】・大排気量でコンパクトなサイズを実現しています。・ドライタイプでありながら、低い到達圧力を実現します。【用途】・分析機器、半導体製造装置、真空乾燥、リークディテクタなど、クリーンな真空環境が求められる装置の真空源として。

接ガス部に油や水などを使用しないドライタイプで、カップパッキンがシリンダ内を往復運動することにより排気する揺動ピストン型の真空ポンプです。【特長】・カップパッキン（特殊樹脂）がシリンダ内を往復運動することにより排気します。・接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプです。【用途】・自動機の真空源として、ワークの吸着搬送に。・真空成形や真空包装装置の真空源として。・各種実験装置や分析機器の真空排気用に。

固定された渦巻き型の壁（固定スクロール）と、それに対面して偏芯運動する渦巻き型の壁（従動スクロール）によって真空排気を行うドライタイプの真空ポンプです。【特長】・接ガス部に油を使用しないドライタイプのため、クリーンな真空排気が可能です。・大排気量でありながらコンパクトな設計です。・単相用には、自動復帰型サーマルプロテクターを内蔵しています。【用途】・クリーンな真空環境が求められる半導体製造装置や分析機器の真空源として。・工場の生産ラインにおける部材の吸着搬送、真空チャックなどに。

ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う、接ガス部に油や水を使用しないドライ真空ポンプのシリーズです。【特長】・アンローダーバルブを内蔵し、ポンプ停止時にポンプ内部へ大気を導入することで起動特性を改善します。・安全面に配慮したサーマルプロテクタを内蔵しています。・シンプルな構造でメンテナンスが容易です。【用途】・製造ラインにおける吸着搬送や、部品の吸着固定に。・各種検査装置や分析機器の真空源として。

揺動ピストン型のベルト駆動式油回転真空ポンプです。【特長】・摺動部の少ない低速回転ポンプのため、堅牢で長寿命です。・耐摩耗性に優れた材料を使用しています。・高効率（IE3）のマルチ電圧モータを採用しています。・標準品のほか、特殊用途向けのオプションにも対応可能です。【用途】・真空熱処理炉、焼結炉、浸炭炉での使用に。・溶剤の排気に。・真空含浸や鋳造に。・大型チャンバーの排気に。

ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う、接ガス部に油や水分を使用しないドライタイプの真空ポンプです。【特長】・サーマルプロテクタを内蔵し、安全面に配慮しています。・シンプルな構造で、メンテナンスが容易です。【用途】・自動化設備の吸着搬送、真空チャックの真空源として。・分析装置や検査装置など、クリーンな環境が求められる装置の排気源に。

接ガス部に油や水を使用しない、ダイアフラム方式のドライ真空ポンプです。【特長】・サーマルプロテクタを内蔵し、安全面にも配慮しています。・シンプルな構造でメンテナンスが容易です。【用途】・ロータリーエバポレーター、真空濃縮、真空ろ過、遠心分離に。・分析機器や理化学機器の真空源として。・各種ポンプのバックポンプやロードロック室の排気に。・吸着搬送、ハンドリング、真空乾燥に。・レーザーガスの循環や排気、特殊ガス置換に。

特殊カーボンの翼板がシリンダー内を摺動回転することにより排気する真空ポンプです。【特長】・比較的小型で大きい排気速度を得ることができます。【用途】・チップマウンター、印刷機械、各種包装機械、電子部品実装装置、製本機械など、各種産業機械の吸着源として。

【特長】･清音タイプとなりオフィスや静かな研究室で使っても運転音が気になりません。･真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がありません。･装置側に油が逆流して装置を汚す心配がありません。･異電圧に別作対応です。【用途】･理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器用。･真空排気装置、電子顕微鏡のバックに。･半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置に。･真空乾燥器、凍結乾燥器に。

マグネットカップリング構造を採用した、直結型の油回転真空ポンプシリーズです。【特長】・装置組込みに適したコンパクトサイズながら、大きな排気速度を発揮します。・マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れがなく長寿命です。・吸気管直下型逆流防止弁を搭載しており、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放されます。・電源コード差込口はインレットタイプで、多様な電源コードに対応可能です。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定しています。・大気圧からの作動が可能です。【用途】・理化学実験、分析機器、レーザー応用機器。・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。・リークディテクタ、真空乾燥器、凍結乾燥器。

ベルト駆動方式を採用した油回転真空ポンプのシリーズです。【特長】・低速回転で静かなポンプです。・ベルトカバーは安全を考慮し密閉式を標準採用しています。【用途】・各種製造装置や分析装置における真空環境の構築に。・部品の吸着搬送や真空チャックでの固定に。

【特長】･ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。･接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。･サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。･シンプル構造でメンテナンスも容易です。【用途】･域型ターボ分子ポンプのバックポンプ･クライオポンプ排気系のバックポンプ･メカニカルブースターポンプのバックポンプ･ロードロック室排気･吸着搬送、ハンドリング･レーザーガス循環・排気用･真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置