直結型油回転真空ポンプ（マグネットカップリングタイプ）

マグネットカップリング構造を採用した、直結型の油回転真空ポンプシリーズです。
【特長】
・装置組込みに適したコンパクトサイズながら、大きな排気速度を発揮します。
・マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れがなく長寿命です。
・吸気管直下型逆流防止弁を搭載しており、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放されます。
・電源コード差込口はインレットタイプで、多様な電源コードに対応可能です。
・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定しています。
・大気圧からの作動が可能です。
【用途】
・理化学実験、分析機器、レーザー応用機器。
・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
・リークディテクタ、真空乾燥器、凍結乾燥器。