アルバック 真空ポンプ

【特長】・ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モーターを採用しています・低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです・大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています・メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです【用途】・蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置・分析機器、リークテスト装置・真空乾燥、ガス置換など各種真空装置

【特長】･ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。･接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。･サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。･シンプル構造でメンテナンスも容易です。【用途】･吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。･分析機器、理化学機器。･半導体検査装置。･デバイス組立。･自動機、包装機。

【特長】・油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

【特長】・油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

【特長】・ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。・接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。・サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。・シンプル構造でメンテナンスも容易です。【用途】・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。・分析機器、理化学機器。・半導体検査装置。・デバイス組立。・自動機、包装機。

【特長】・油回転真空ポンプ用のオプション吸気管です・PTネジタイプの吸気管となります

【特長】・ダイアフラム型ですので無音無震動です。・100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。【商品仕様】・型番：DA-30D・吐出空気量：30/36(L/min)・排気速度(L/min)：30/36・到達圧力(kPa)：6.7・吸気口径(OD)×(ID)mm：9×5・サーマルプロテクター内蔵・電源：100V 50/60Hz・サイズ(mm)：212×278×224.5・重量(kg)：11・接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミダイキャスト、吸排気弁/SUS、ダイアフラム/NBR(ニトリルゴム)

【特長】・油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に

【特長】・ダイアフラム型ですので無音無震動です。・100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。【商品仕様】・型番：DA-121D・排気速度(L/min)：120/145・到達圧力(kPa)：3.3・吸気口径(OD)×(ID)mm：・サーマルプロテクター内蔵・電源：100V 50/60Hz・サイズ(mm)：207×411×285・重量(kg)：26・接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミ鉱物、バルブ/PTFE(四フッ化エチレン)、ダイアフラム/EPDM(エチレンプロピレンゴム)

【特長】・ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます・モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます【用途】・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器・真空排気装置、電子顕微鏡のバック・半導体製造装置

【特長】・低音低振動で精密工作仕上げのため極小です。・ベルトレスでモーター直結のため装置への組み込みが容易です。【商品仕様】・型番：G-20DA・タイプ：二段式・排気速度(実効)(L/min)：20/24(50/60Hz)・到達圧力(Pa)：1.3×10^-1(1×10^-3^Torr)・電源(V)：単相100・吸気口径(OD)×(ID)mm：18×14(M20×P1)・使用オイル：SMR-100(付属)・オイル量：180mL・サイズ：56×299.5×199.5mm・重量：9kg・小型直結型・※ポンプの吸気管内径より小さな吸気管を使用すると、実効排気速度が多少減少する事があります。

【特長】・サーマルプロテクター内蔵です。・ケミカルタイプで接ガス部にETFE・PTEE(四フッ化エチレン)・PP(ポリプロピレン)を使用しています。【商品仕様】・型番：DTU-20・排気速度(L/min)：20/23(50/60Hz)・到達圧力(Pa)：200・電源：AC100V 50/60Hz・消費電力：80W・吸・排気口径：O.Dφ10×I.Dφ6mm(Rc1/8)・サイズ(mm)：161×327×217・重量(kg)：7.5

【特長】・ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです・修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです【用途】・お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に