スクロール型ドライ真空ポンプ DISL

固定された渦巻き型の壁（固定スクロール）と、それに対面して偏芯運動する渦巻き型の壁（従動スクロール）によって真空排気を行うドライタイプの真空ポンプです。
【特長】
・接ガス部に油を使用しないドライタイプのため、クリーンな真空排気が可能です。
・大排気量でありながらコンパクトな設計です。
・単相用には、自動復帰型サーマルプロテクターを内蔵しています。
【用途】
・クリーンな真空環境が求められる半導体製造装置や分析機器の真空源として。
・工場の生産ラインにおける部材の吸着搬送、真空チャックなどに。