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導入機の取り扱いメーカー一覧(9件)

導入機は、真空チャンバー内の運動を大気側から操作するためのフィードスルー機構です。
半導体・電子デバイス製造装置や真空蒸着装置など、真空を保持したまま外部から回転や直線移動の動力を伝達する必要がある生産設備で使用されます。
ベローズや弾性シールにより真空を保持しながら直線移動を伝える直進タイプや、シャフトを介して回転運動を伝えるタイプなど、動作形式に応じた複数の種類があります。
低リーク量を実現する構造になっている点が特徴です。
選定にあたっては、対応する真空接続規格、伝達可能な直進力・トルク、許容リーク量、使用温度・耐圧性能などを確認する必要があります。
用途や設置条件に合わせて適切な製品をご選定ください。

導入機のメーカー一覧

9件

導入機の設計事例

  • 箱詰めワーク纏め取りハンド

    No.000894 箱詰めワーク纏め取りハンド

    目的・動作
    真空フィルタ・真空タンク・真空計 導入端子・導入機 真空機器のカテゴリを全て見る 油圧機器

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  • 部品棚付き作業台

    No.000880 部品棚付き作業台

    目的・動作
    真空フィルタ・真空タンク・真空計 導入端子・導入機 真空機器のカテゴリを全て見る 油圧機器

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  • 折畳み作業台

    No.000883 折畳み作業台

    目的・動作
    真空フィルタ・真空タンク・真空計 導入端子・導入機 真空機器のカテゴリを全て見る 油圧機器

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