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導入機の取り扱いメーカー一覧(9件)
導入機は、真空チャンバー内の運動を大気側から操作するためのフィードスルー機構です。
半導体・電子デバイス製造装置や真空蒸着装置など、真空を保持したまま外部から回転や直線移動の動力を伝達する必要がある生産設備で使用されます。
ベローズや弾性シールにより真空を保持しながら直線移動を伝える直進タイプや、シャフトを介して回転運動を伝えるタイプなど、動作形式に応じた複数の種類があります。
低リーク量を実現する構造になっている点が特徴です。
選定にあたっては、対応する真空接続規格、伝達可能な直進力・トルク、許容リーク量、使用温度・耐圧性能などを確認する必要があります。
用途や設置条件に合わせて適切な製品をご選定ください。
導入機のメーカー一覧
9件
-
コスモテック（導入端子）
取り扱いシリーズ数：40件
-
通常単価(税別)：27,706円～
税込単価：30,476円～ -
通常単価(税別)：46,419円～
税込単価：51,060円～ -
通常単価(税別)：12,045円～
税込単価：13,249円～
-
-
セラムテック
取り扱いシリーズ数：8件
-
通常単価(税別)：13,647円～
税込単価：15,011円～ -
通常単価(税別)：11,681円～
税込単価：12,849円～ -
通常単価(税別)：31,660円～
税込単価：34,826円～
-
-
インフィコン
取り扱いシリーズ数：6件
-
通常単価(税別)：89,068円～
税込単価：97,974円～ -
通常単価(税別)：126,950円～
税込単価：139,645円～ -
通常単価(税別)：8,700円～
税込単価：9,570円～
-
-
SMC
取り扱いシリーズ数：3件
-
通常単価(税別)：310円～
税込単価：341円～ -
300mmウエハ対応 平行シール型スリットバルブ XGTPシリーズ
通常単価(税別)：3,265円～
税込単価：3,591円～ -
通常単価(税別)：10,843円～
税込単価：11,927円～
-
-
AVC
取り扱いシリーズ数：1件
-
通常単価(税別)：200,563円～
税込単価：220,619円～
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グリーンテック
取り扱いシリーズ数：1件
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通常単価(税別)：31,352円～
税込単価：34,487円～
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フジ・テクノロジー
取り扱いシリーズ数：1件
-
通常単価(税別)：6,860円～
税込単価：7,546円～
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入江工研
取り扱いシリーズ数：1件
-
通常単価(税別)：151,800円～
税込単価：166,980円～
-
-
アリオス
取り扱いシリーズ数：1件
-
通常単価(税別)：145,348円～
税込単価：159,882円～
-
