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高精度・高剛性・低価格 自動リニアボールステージ

X軸（XMSGシリーズ）

X軸 （XMSGシリーズ）

ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性・低価格でステージ面の薄さ20mmを実現しました。

仕様

送り機構 ステージ面
サイズ(mm)		 ガイド 繰返し位置
決め精度(μm)		 最大
移動量(mm)
ボールねじ (40～70)×
(40～110)		 リニアボール
ガイド		 ±0.5以内 50
  • 詳細はこちら

XY軸（XYMSGシリーズ）

XY軸 （XYMSGシリーズ）

ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性を実現しました。

仕様

送り機構 ステージ面
サイズ(mm)		 ガイド 繰返し位置
決め精度(μm)		 最大
移動量(mm)
ボールねじ (40～70)×
(40～70)		 リニアボール
ガイド		 ±0.5以内 15
  • 詳細はこちら

Z軸（ZMSGシリーズ）

Z軸 （ZMSGシリーズ）

ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性を実現したZ軸ステージです。

仕様

送り機構 ステージ面
サイズ(mm)		 ガイド 繰返し位置
決め精度(μm)		 最大
移動量(mm)
ボールねじ (40～70)×
(40～70)		 リニアボール
ガイド		 ±0.5以内 15
  • 詳細はこちら

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