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X軸（XMSGシリーズ）
ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性・低価格でステージ面の薄さ20mmを実現しました。
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置 決め精度(μm) |
最大 移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | (40～70)× (40～110) |
リニアボール ガイド |
±0.5以内 | 50 |
XY軸（XYMSGシリーズ）
ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性を実現しました。
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置 決め精度(μm) |
最大 移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | (40～70)× (40～70) |
リニアボール ガイド |
±0.5以内 | 15 |
Z軸（ZMSGシリーズ）
ガイド方式に一体型リニアボールを採用し、高精度・高剛性を実現したZ軸ステージです。
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置 決め精度(μm) |
最大 移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | (40～70)× (40～70) |
リニアボール ガイド |
±0.5以内 | 15 |
