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X軸 −ストローク 30～75−（カバー無し XCVLシリーズ、カバー有り XCVLCシリーズ）
高剛性・幅コンパクトで移動量30～75mm対応
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置決め精度(μm) | 最大移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | 60×60 | リニアボール ガイド |
±0.5 | 75 |
X軸 −ストローク 100～300−（カバー無し XCVLシリーズ、カバー有り XCVLCシリーズ）
高剛性・幅コンパクトで移動量100～300mm対応
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置決め精度(μm) | 最大移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | 60×60 | リニアボール ガイド |
±0.5 | 300 |
XY軸 ストローク −30～75−（カバー無し XYCVLシリーズ、カバー有り XYCVLCシリーズ）
高剛性・幅コンパクトで移動量30～75mm対応
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置決め精度(μm) | 最大移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | 60×60 | リニアボール ガイド |
±0.5 | 75 |
Z軸 −ストローク 30～75−（カバー無し ZCVLシリーズ、カバー有り ZCVLCシリーズ）
高剛性・幅コンパクトで移動量30～75mm対応のZ軸タイプ
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置決め精度(μm) | 最大移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | 60×60 | リニアボール ガイド |
±0.5 | 75 |
水平面Z軸 クロスローラ式（高耐荷重タイプ ZLMPGシリーズ、薄型タイプ ZLMPTG）
耐荷重196Nの高荷重タイプ・高さ40mmの薄型タイプをラインナップ
仕様
| 送り機構 | ステージ面 サイズ(mm) |
ガイド | 繰返し位置決め精度(μm) | 最大移動量(mm) |
|---|---|---|---|---|
| ボールねじ | 80×100 120×120 60×60 |
クロスローラ ガイド |
±0.5以内 | 12 |
メカニカル部品技術窓口
※現在、電話の受付時間を9:00～18:00に短縮しています。
