メカニカル部品技術窓口
真空バルブ
真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。
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遮断バルブ：ゲートバルブ、Ｌ型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ（大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています）
コンダクタンスバルブ：ニードルバルブ、バタフライバルブ（空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです）
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。
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53 件
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ
圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済むもっと読む55.0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：39,429円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ
駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減しますもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常単価(税別) ：37,505円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - Rc / NPT / フェースシール継手 / コンプレッション継手 通常単価(税別) ：21,785円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクトもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：49,207円～通常出荷日 ：3日目〜
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付
アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れるもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - フランジ 通常単価(税別) ：39,784円～通常出荷日 ：19日目
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ
アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れるもっと読む44.0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：35,852円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ
【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：39,244円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ
圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクトもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：45,901円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD
ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：74,665円～通常出荷日 ：6日目〜
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ
【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強いもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：38,264円～通常出荷日 ：6日目〜
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ
ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクトもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：75,731円～通常出荷日 ：6日目〜
SMC
ワークがなくても真空圧力の低下を抑制する真空バルブ。【特長】・1つの真空発生器で真空パッドを多数個使用した場合に、未吸着状態のパッドがあっても、真空圧力の低下を抑制するため、ワークを保持・ワンタッチ管継手付を追加・ワーク変更による切換作業が不要・ワーク形状が異なる場合、制御回路の簡略化が可能・固定絞り径：0.3mm、0.5mm、0.7mm、1mmもっと読む44.0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - 0.07 ～ 0.78 M / Rc / NPT / ワンタッチ配管 通常単価(税別) ：1,503円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ
【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強いもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：35,155円～通常出荷日 ：3日目〜
コンサス
アクチュエーターをヨーク無しで組み立て可能にする真空バルブ。【特長】・グランド部が特殊構造にしており、アクチュエーターをヨーク無しで組立て可能です。・グランド部はOリングとグランドパッキンの2重構造のため、シール性が良好です。・軽量・コンパクト設計のため、配管・メンテナンス時の取り外しが簡単。・フラットハンドル。・スリーピースボディー、フルポート構造、NWフランジタイプです。【用途】・半導体関連やその他装置類、真空配管ラインなどの用途に最適です。もっと読む55.0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - - - - フランジ 通常単価(税別) ：22,859円～通常出荷日 ：在庫品1日目当日出荷可能
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDVシリーズ
ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクトもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常単価(税別) ：80,222円～通常出荷日 ：19日目
ＣＫＤ
高い真空度保持力、優れた耐久性を備えた高真空用電磁弁。【特長】・耐久性200万回（メーカー条件）・長期連続使用にも高い性能を維持でき、信頼性に優れたハイクオリティなバルブ・真空漏れ1×10の‐9乗Pa・m3/s以下。内部、外部漏れ量が安定しており、高い真空度保持力を誇る・特殊パッキン採用。FKM製、シール寿命に優れている・高耐食。ボディにステンレスを採用・高い真空度保持力。低リークで、真空度保持力が安定。背圧使用可能（逆真空）一部機種を除く・シンプルな構造でメンテナンスが容易にできる【用途】・真空回路の切り替えにもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - NPT / JXR継手 / くい込み継手 通常出荷日 ：7日目〜
SMC
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFVシリーズ エアオペレートタイプ 電磁弁付
【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常単価(税別) ：43,130円～通常出荷日 ：19日目
ＣＫＤ
CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。【特長】・高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです・アルミボディの採用で軽量、コンパクト・半導体業界 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 複動形 二段形【カタログはこちらをご参照ください】P.93 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 AVB※17シリーズP.97 高真空用 エアオペレイトバルブ 複動形 AVB※37シリーズP.101 高真空用エアオペレイトバルブ 二段形AVB※47シリーズもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル / ダブル 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：48,137円～通常出荷日 ：3日目〜
SMC
ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ
圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクトもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ 通常単価(税別) ：48,765円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
日本ピスコ
・大流量の制御に最適な真空ユニット。・真空スイッチ仕様（□31mm幅 2点出力真空スイッチ）。【特長】・大流量の制御に最適な31.5mm幅の真空ポンプ対応ユニット。・真空供給用バルブタイプは、ノーマルクローズとノーマルオープンを用意。・圧力センサは、□31mmで大型LED表示による高視認性を実現。・様々なニーズに対応すべく、豊富なバリエーションを揃えております。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト - - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ エアパイロット - ワンタッチ配管 通常単価(税別) ：27,486円～通常出荷日 ：8日目〜
VAT
高真空アプリケーションの排気、ベント用。【特長】・アングルおよびインラインボディ。・ベローズ軸シール。・大きな差圧対応。・長いサイクルライフ。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：32,715円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
入江工研
全てステンレスを使用しているため高い耐食性をもつ手動型アングルバルブ。【特長】・真空バルブの開閉が手動で出来るためスローに開放したりすることが出来る。・全体がコンパクト設計で小型、軽量化。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。【用途】・汎用の試験機など手動で動かす装置に利用可能。もっと読む55.0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - - - - フランジ 通常単価(税別) ：69,712円～通常出荷日 ：在庫品1日目当日出荷可能
フジ・テクノロジー
開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます・操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです・真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮しますもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常単価(税別) ：81,029円～通常出荷日 ：15日目〜
フジ・テクノロジー
【特長】・新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。・ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。・バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。・バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室（弁体閉側シリンダ室のピストン裏側）につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。・この機構によりアシスト室に十分な空気が供給（排出）される前にピストン運動が始まりますので、弁体開（閉）時には、アシスト室内の圧力は負（加）圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常単価(税別) ：81,846円～通常出荷日 ：15日目
ＣＫＤ
高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 高真空用電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ 通常出荷日 ：7日目〜
入江工研
ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 直動形 - フランジ 通常単価(税別) ：38,221円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
コガネイ
軽量かつコンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します・供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用します・操作力が小さいため、高頻度作業に適し小形で大流量が得られます【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 8.5 Rc 通常単価(税別) ：10,738円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
VAT
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ。【特長】・ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構。・DN63-200 Vulcanizedシール（ゲートシール部にデッドボリュームがない）。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：662,271円～通常出荷日 ：7日目〜
コガネイ
軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応もっと読む44.0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 外部パイロット形 10.2 Rc 通常単価(税別) ：8,286円～通常出荷日 ：8日目
VAT
プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ。【特長】・激しい腐食性ガスへの耐性。・精密で再現性の高いガス流量調整。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：268,547円通常出荷日 ：7日目
フジ・テクノロジー
モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ
【特長】・フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。・差圧状態（真空-大気圧）からオープンさせることができます。・高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。・全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。・ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。・制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。・角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。・モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。・フルクローズ（全閉）位置検出用フォトセンサを標準装備。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 機械作動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常単価(税別) ：230,054円～通常出荷日 ：15日目
フジ・テクノロジー
新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。【特長】・弁開度が0度～45度と90度（全開）の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます・通常の全閉（フルクローズ）と全開（フルオープン）用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度～45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造ですもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 空操真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常単価(税別) ：98,216円～通常出荷日 ：15日目
コンバム（旧：妙徳）
真空ポンプ、真空ラインの制御に使用できる真空切換弁ユニット。【特長】・正圧の力で内部バルブを切換え、真空流路をコントロール。・圧力センサ、フィルタ、流量調整機能、破壊流量調整機能をオールインワン。・真空源の一括管理に最適。・装置に合わせて、仕様の異なる、単体搭載も特注対応。・センサ搭載。【用途】・真空ポンプ真空流体制御に最適。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 3ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ - - - 通常単価(税別) ：27,185円～通常出荷日 ：7日目
SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLA・XLC・XLF・XLGシリーズ 保守部品
アルミニウム製高真空L型バルブ、XLA・XLC・XLF・XLGシリーズの保守部品です。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 関連部品 - - - - - - - - 通常単価(税別) ：732円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
VAT
粗引き／バックラインの真空封止用。定量絞り、ガス導入及び液体用バルブ。【特長】・丈夫で使いやすい真空バルブ。・クリーニングおよびダイアフラムの交換が容易。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：39,011円～通常出荷日 ：在庫品1日目〜一部当日出荷可能
SMC
初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4（従来比）・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減・弁の形式：常時閉（加圧開・スプリングシール）・使用流体：窒素、空気、不活性ガス等・使用温度：5～60℃（ベーキング温度、150℃以下）・質量：0.5kgもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - 4.6 くい込み継手 通常単価(税別) ：112,243円～通常出荷日 ：6日目〜
フジ・テクノロジー
LEVシリーズはノーマルオープン・ニューマチックバネ復帰の自動リークバルブです。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：20,462円～通常出荷日 ：10日目〜
ＣＫＤ
スプリングにより安定したシール機能。アルミボディの採用で軽量・コンパクト。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 - - - - - - - - 通常単価(税別) ：48,302円～通常出荷日 ：3日目〜
コガネイ
軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁。【特長】・強制離脱や真空破壊のできる真空・正圧併用タイプもシリーズ化・外部パイロット方式の採用により、2・3ポート弁の多様な機能を満載・コンパクトなボディながらたくみな多芸多才ぶりを発揮・配管ポート位置と流れ方向に制約を受けないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁・真空はもちろん、正圧と併用しても使用可能で、真空破壊や強制離脱用バルブとして使用可能【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 外部パイロット形 4.2 M 通常単価(税別) ：6,753円～通常出荷日 ：8日目
フジ・テクノロジー
開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・弁体と直結したレバーハンドルを90度回すことにより開閉ができ、ワンタッチで素早くできるため、取り扱いやすいバルブですもっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ 通常単価(税別) ：71,616円～通常出荷日 ：15日目
アズワン
【特長】・パッキングを使用していませんので、腐食性ガスに強いです。 ・真空ポンプの吸引口に取り付けると、油の逆流を防止できます。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 手動真空弁 - - - - - - - - 通常単価(税別) ：24,471円～通常出荷日 ：1日目〜
コガネイ
軽量、コンパクトな、2・3ポート直動形電磁真空弁です。【特長】・真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズムです・使いやすいと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました・正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です・ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します【用途】・あらゆる業界の空気圧機器や生産ラインに対応もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 1.5 M / Rc 通常単価(税別) ：9,055円～通常出荷日 ：3日目
コガネイ
多様な制御ニーズに応えて､新たに正圧・常時開仕様と真空仕様をラインアッフﾟ！生産ラインの機械・装置にベストな制御系が選択可能になりました｡もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 電磁真空弁 単体使用 / 多連 ダイレクト / マニホールドベース 2ポート弁 / 3ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ 直動形 0.1 ～ 0.45 M 通常単価(税別) ：4,689円～通常出荷日 ：3日目〜
VAT
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ。【特長】・モジュラーデザイン。・ベローズ軸シール、潤滑材不要の構造。・ゲートシール部にデッドボリュームがないVulcanizedシール。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：352,915円通常出荷日 ：7日目
VAT
（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用。【特長】・シールはFLEX VATRING方式。・シール面の変形は弾性変形の範囲内。・閉操作は機械的に止まるまで、トルク管理不要。・コンダクタンス大。・FLEX VATRINGは2回まで交換可能。もっと読む0種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類 - - - - - - - - - 通常単価(税別) ：197,735円通常出荷日 ：19日目
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ミスミ
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