メカニカル部品技術窓口
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ。【特長】・ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構...
詳細を確認
DN63-200

DN250-320

DN63-200

DN250-320
| サイズ | DN63~320mm(2 1/2"~12") |
|---|---|
| アクチュエータ | 手動式:クランクハンドル式 圧空作動式:複動シリンダー |
| 標準フランジ | ISOF,CF-F,ASA-LP,JIS |
| シール技術 | VATLOCK方式 |
| リーク量 | バルブボディ | <5・10-10mbar ls-1 | |
|---|---|---|---|
| バルブシート | <1・10-9mbar ls-1 | ||
| 使用圧力範囲 | DN63~200 | 1・10-10mbar to 1.6 bar(abs) | |
| DN250~320 | 1・10-10mbar to 1.2 bar(abs) | ||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | DN63~200 | ≦1.6 bar | |
| DN250~320 | ≦1.2 bar | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≦30 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 50,000 | ||
| 許容温度※1 | バルブボディ | ≦250℃(バルブ開き)/≦200℃(バルブ閉) | |
| 手動アクチュエータ | ≦250℃ | ||
| 圧空アクチュエータ | ≦200℃ | ||
| 電磁弁 | ≦50℃ | ||
| リミットスイッチ | ≦80℃ | ||
| 加熱および冷却速度 | ≦50℃ h-1 | ||
| 材質 | バルブボディ | AISI 304(1.4301) | |
| 機構 | DN63~200 | AISI 316L(1.4404) | |
| DN250~320 | AISI 304(1.4301) | ||
| ベローズ | AISI 316L(1.4404、1.4435) | ||
| シール | ボンネット | メタル | |
| ゲート | FKM(Viton®) | ||
| 軸シール | ベローズ | ||
| 取付方向 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC,5.4W(others on request) | ||
| リミットスイッチ:接点容量 | 電圧 | ≦50VAC/DC | |
| 電流 | ≦1.2A | ||
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | ||
※1 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。


研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ。
【特長】
・ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構。
・DN63-200 Vulcanizedシール(ゲートシール部にデッドボリュームがない)。
通常価格、通常出荷日が表示と異なる場合がございます

SMC
アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ
5通常価格(税別):39,429円~

フジ・テクノロジー
手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ
0通常価格(税別):81,029円~

SMC
サクションアシストバルブ ZP2Vシリーズ
4通常価格(税別):1,503円~

フジ・テクノロジー
自動バタフライバルブ・BV-NIIシリーズ
0通常価格(税別):98,216円~

SMC
真空レギュレータ IRV10・20シリーズ
5通常価格(税別):241円~

AirTAC(エアタック)
真空レギュレータ GVRシリーズ
0通常価格(税別):3,976円~

ミスミ
真空配管用継手 クランプ
3.9通常価格(税別):1,140円~

SMC
真空パッド コンパクトタイプ ZP3シリーズ
4.1通常価格(税別):402円~

ミスミ
吸着パッド単体 スタンダードタイプ・深型タイプ・小型タイプ
4.3通常価格(税別):320円~