フジ・テクノロジー 真空バルブ

開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます・操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです・真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮します

【特長】・新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。・ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。・バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。・バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室（弁体閉側シリンダ室のピストン裏側）につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。・この機構によりアシスト室に十分な空気が供給（排出）される前にピストン運動が始まりますので、弁体開（閉）時には、アシスト室内の圧力は負（加）圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します。

【特長】・フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。・差圧状態（真空-大気圧）からオープンさせることができます。・高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。・全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。・ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。・制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。・角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。・モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。・フルクローズ（全閉）位置検出用フォトセンサを標準装備。

新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。【特長】・弁開度が0度～45度と90度（全開）の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます・通常の全閉（フルクローズ）と全開（フルオープン）用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度～45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造です

LEVシリーズはノーマルオープン・ニューマチックバネ復帰の自動リークバルブです。

開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・弁体と直結したレバーハンドルを90度回すことにより開閉ができ、ワンタッチで素早くできるため、取り扱いやすいバルブです