VAT 真空バルブ

高真空アプリケーションの排気、ベント用。【特長】・アングルおよびインラインボディ。・ベローズ軸シール。・大きな差圧対応。・長いサイクルライフ。

研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ。【特長】・ベローズ軸シール、潤滑剤フリーの機構。・DN63-200 Vulcanizedシール（ゲートシール部にデッドボリュームがない）。

プロセス圧力を微小流量で制御するガス導入バルブ。【特長】・激しい腐食性ガスへの耐性。・精密で再現性の高いガス流量調整。

粗引き／バックラインの真空封止用。定量絞り、ガス導入及び液体用バルブ。【特長】・丈夫で使いやすい真空バルブ。・クリーニングおよびダイアフラムの交換が容易。

UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ。【特長】・モジュラーデザイン。・ベローズ軸シール、潤滑材不要の構造。・ゲートシール部にデッドボリュームがないVulcanizedシール。

（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用。【特長】・シールはFLEX VATRING方式。・シール面の変形は弾性変形の範囲内。・閉操作は機械的に止まるまで、トルク管理不要。・コンダクタンス大。・FLEX VATRINGは2回まで交換可能。