メカニカル部品技術窓口

ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

通常単価(税別)
45,901円~307,606円
税込単価
50,491円~338,367円
通常出荷日:在庫品1日目~19日目一部当日出荷可能

圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質:SCS13(...

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  • 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。(在庫限り)
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未確定:候補が826型番あります。
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数量:

商品情報

外形図

単位:mm

XMA(L型)

XMA(L型)の寸法図1
XMA(L型)の寸法図2

XYA(ストレート型)

XYA(ストレート型)の寸法図1
XYA(ストレート型)の寸法図2

製品仕様

XMAシリーズの外観

XMAシリーズ

XYAシリーズの外観

XYAシリーズ

製品仕様

型番XMA-16XMA-25
XYA-25
XMA-40
XYA-40
XMA-50
XYA-50
XMA-63
XYA-63
XMA-80
XYA-80
フランジ(バルブ)サイズ16, CF0342540, CF0705063, CF11480
弁の形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
使用流体不活性ガス系の真空
使用温度℃5~60(高温タイプの場合5~150)
使用圧力Pa(abs)1×10-6~大気圧
コンダクタンス L/s注1)5144580160200
リーク量 Pa・m3/s内部標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く
外部標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
作動時間s0.050.10.210.240.260.28
フランジの種類KF(NW), CFKF(NW)KF(NW), CFKF(NW)KF(NW), K(DN), CFKF(NW), K(DN)
主な材質本体:SCS13(SUS304相当), ベローズ:SUS316L, 要部:SUS304, FKM(標準シール材)
パイロット圧力MPa(G)0.4~0.7
パイロットポート接続口径M5Rc1/8
質量kg注2)XMA0.33(0.37)0.611.40(1.76)23.60(4.96)6.2
XYA-0.661.422.404.307.70

注1)コンダクタンスは同一寸法のエルボの「分子流」での値で代表しています。
注2)( )内質量はCF(コンフラット)継手の場合

構造

XMA(L型)、XYA(ストレート型)の構造図

※保守部品につきましてはカタログをご参照ください。

規格表

単位:mm

XMA(L型)

型番ABCDFnFdFcGHP.C.D L1L2
XMA-164010338130-341740P.C.D 276×φ4.4(直径4.4mm)
XMA-255011348140--2639--
XMA-406515866255-704163P.C.D 58.76×φ6.6(直径6.6mm)
XMA-507017079275--5268--
XMA-6388196100387951147069P.C.D 92.18×φ8.4(直径8.4mm)
XMA-80902351173114100-8396--

XYA(ストレート型)

型番ABCDEFnFdGH
XYA-25100.279.548123.540-2664
XYA-401301066623855-4184
XYA-501781197925375-5295
XYA-63209149100361879570118
XYA-8026817811738011411083142

注意・禁止事項

  • ※ 上記以外の製品情報につきましては、カタログを参照下さい。
  • ※ 商品画像は代表画像となっております。

型番リスト

表示件数

フランジ種類

フランジ呼び

バルブ種類

インジケータ

操作ポート方向

温度範囲

(℃)

スイッチ型式

スイッチ数

シール材質

リーク量

(Pa・m3/s)

シ−ル変更箇所

スイッチリード線長さ

(m)

最小発注数量
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁開)
Chemraz(配合No.:SS630)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
3
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
1
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Barrel Perfluoro(配合No.:70W)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-9乗
外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Chemraz(配合No.:SSE38)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
5
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
EPDM(配合No.:2101-80)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9N
1ヶ付(検出位置:弁閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~60
M9P
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ側
5~60
M9N
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
0.5
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~60
M9P
1ヶ付(検出位置:弁開)
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
3
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータ付
フランジ面 裏
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ側
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
VMQ(配合No.:1232-70)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
-
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ面 左
5~60
M9B
2ヶ付(検出位置:弁開閉)
VMQ(配合No.:1232-70)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-11乗
バルブシール
3
1個
[その他] CF
16
L型
インジケータなし
フランジ面 左
5~150
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
Kalrez(配合No.:4079)
内部:1.3×10の-8乗 外部:1.3×10の-9乗
バルブシール/外部シール
-
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
NW
16
L型
インジケータ付
フランジ面 左
5~60
オートスイッチなし(内蔵磁石付)
オートスイッチなし
FKM(配合No.:1349-80)
内部:1.3×10の-10乗 外部:1.3×10の-11乗
なし
-
1個
通常単価(税別) (税込単価)
通常出荷日
54,729円
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19日目

詳細情報

基本情報

圧力バランス構造の真空バルブ。
【特長】
・ベローズ式でダストフリー、クリーン化
・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)
・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)
・軽量・コンパクト

ご注意

  • 2025年3月1日工場出荷分よりスイッチの色味が変更となりました。 スイッチの色味は選定・交換不可となります。 旧品ご購入希望の方はスイッチ単品で注文をお願いいたします。(在庫限り)
  • 材料や部材入手難などの影響により納期が不安定になっています。受注停止中の商品は、次回入荷の目途が立っていません。
  • スペック、材質の詳細はカタログをご参照ください。
    CADデータは、一部の型番には対応しておりません。
  • 商品画像は代表画像の場合がございます。詳細形状はカタログをご参照ください。

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ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズのレビュー
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アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAVシリーズ 電磁弁付
アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ
メーカーSMCSMCSMCSMCSMCSMC
通常価格45,901円-35,852円 -48,765円 -49,207円 -39,784円 -35,155円 -
通常出荷日在庫品1日目〜在庫品1日目〜在庫品1日目〜3日目〜19日目3日目〜
種類空操真空弁空操真空弁手動真空弁パイロット真空弁高真空用電磁弁パイロット真空弁
用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
ポート数2ポート弁3ポート弁2ポート弁2ポート弁3ポート弁2ポート弁
切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ

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