真空バルブ（配管口の種類：フランジ）

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  ＣＫＤ

  高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

  評価 0.0

  CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。【特長】・高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです・アルミボディの採用で軽量、コンパクト・半導体業界 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 複動形 二段形【カタログはこちらをご参照ください】P.93 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 AVB※17シリーズP.97 高真空用 エアオペレイトバルブ 複動形 AVB※37シリーズP.101 高真空用エアオペレイトバルブ 二段形AVB※47シリーズ

  CAD ：

  2D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	50,499円～
  通常出荷日 ：	3日目

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

  評価 4.0 平均満足度4.0

  アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	3ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	31,449円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

  評価 0.0

  駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	33,277円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  • 数量スライド割引

  コンサス

  ステンレス バルブ 真空用 NWフランジボールバルブ

  評価 5.0 平均満足度5.0

  アクチュエーターをヨーク無しで組み立て可能にする真空バルブ。【特長】・グランド部が特殊構造にしており、アクチュエーターをヨーク無しで組立て可能です。・グランド部はOリングとグランドパッキンの2重構造のため、シール性が良好です。・軽量・コンパクト設計のため、配管・メンテナンス時の取り外しが簡単。・フラットハンドル。・スリーピースボディー、フルポート構造、NWフランジタイプです。【用途】・半導体関連やその他装置類、真空配管ラインなどの用途に最適です。

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	-	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	22,859円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目

  • 当日出荷可能

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

  評価 5.0 平均満足度5.0

  圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	34,586円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  • SALE 2024/09/30まで

  入江工研

  高真空アングルバルブ（複動・単動）

  評価 0.0

  ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。

  CAD ：

  3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	38,221円～
  特別価格
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  • SALE 2024/09/30まで
  • 数量スライド割引

  入江工研

  高真空アングルバルブ（手動型）

  評価 5.0 平均満足度5.0

  全てステンレスを使用しているため高い耐食性をもつ手動型アングルバルブ。【特長】・真空バルブの開閉が手動で出来るためスローに開放したりすることが出来る。・全体がコンパクト設計で小型、軽量化。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・取り付け姿勢が自由（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨）。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易（コンフラットフランジ）。【用途】・汎用の試験機など手動で動かす装置に利用可能。

  CAD ：

  3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	-	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	69,712円～
  特別価格
  通常出荷日 ：	在庫品1日目

  • 当日出荷可能

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

  評価 0.0

  ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	80,908円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  フジ・テクノロジー

  手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

  評価 0.0

  開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます・操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです・真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮します

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	その他	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	81,846円～
  通常出荷日 ：	15日目

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  ＣＫＤ

  高真空用電磁弁HVB6・7-12シリーズ

  評価 0.0

  高真空用の電磁弁。【特長】・NC（通電時開）形・接続口径：フランジΦ48、Φ52【用途】・真空及び不活性ガスの制御に最適

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  高真空用電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	19,591円～
  通常出荷日 ：	8日目～

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

  評価 0.0

  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	42,300円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

  評価 0.0

  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	34,799円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

  評価 0.0

  圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	48,008円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

  評価 0.0

  ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	56,736円～
  通常出荷日 ：	3日目

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  フジ・テクノロジー

  バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

  評価 0.0

  【特長】・新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。・ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。・バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。・バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室（弁体閉側シリンダ室のピストン裏側）につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。・この機構によりアシスト室に十分な空気が供給（排出）される前にピストン運動が始まりますので、弁体開（閉）時には、アシスト室内の圧力は負（加）圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します。

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	その他	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	81,846円～
  通常出荷日 ：	15日目

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

  評価 0.0

  圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	48,008円～
  通常出荷日 ：	在庫品1日目～

  • 一部当日出荷可能

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  フジ・テクノロジー

  自動バタフライバルブ・BV-NIIシリーズ

  評価 0.0

  新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。【特長】・弁開度が0度～45度と90度（全開）の2位置で作動させることができるので、1台のバルブでスロー排気と高速排気ができます・通常の全閉（フルクローズ）と全開（フルオープン）用エアーシリンダに加えて、弁開度を0度～45度の範囲で任意に設定できるエアーシリンダを設けた2段階の構造です

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	その他	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	98,216円～
  通常出荷日 ：	15日目

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  フジ・テクノロジー

  モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

  評価 0.0

  【特長】・フルクローズ（全閉）とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。・差圧状態（真空-大気圧）からオープンさせることができます。・高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。・全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。・ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。・制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。・角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。・モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。・フルクローズ（全閉）位置検出用フォトセンサを標準装備。

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  機械作動真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	その他	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	255,616円～
  通常出荷日 ：	15日目

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  フジ・テクノロジー

  手動レバーハンドル式バタフライバルブ_AXシリーズ

  評価 0.0

  開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・弁体と直結したレバーハンドルを90度回すことにより開閉ができ、ワンタッチで素早くできるため、取り扱いやすいバルブです

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	その他	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	71,616円～
  通常出荷日 ：	15日目

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  SMC

  アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

  評価 0.0

  【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	39,448円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  SMC

  ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

  評価 0.0

  ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）

  CAD ：

  2D / 3D

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  パイロット真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	111,793円～
  通常出荷日 ：	3日目～

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  入江工研

  高真空L型バルブ（自動）2FLV

  評価 0.0

  【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。）・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。（ コンフラットフランジ）

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  空操真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	-	2位置ノーマルクローズ	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	110,810円
  通常出荷日 ：	6日目

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  アリオス

  インターロックバルブ ILV-01シリーズ

  評価 0.0

  停電時の真空保管・安全対策に！【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90～260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ（TLV-02） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  電磁真空弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルオープン	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	410,401円
  通常出荷日 ：	15日目

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  アリオス

  タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

  評価 0.0

  停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90～260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ （ILV-01） と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  遅延真空電磁弁	単体使用	ダイレクト	2ポート弁	シングル	2位置ノーマルオープン	直動形	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	134,357円
  通常出荷日 ：	3日目

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  入江工研

  高真空L型バルブ（手動）2FLV

  評価 0.0

  【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPa の差圧でも漏れません。・取り付け姿勢が自由。（特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております）・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。・片側回転フランジのため、取付けが容易。（ コンフラットフランジ）

  種類	用途	設置方法	ポート数	ソレノイドの種類	切換の種類	電磁弁駆動の種類	有効断面積(mm2)	配管口の種類
  手動真空弁	単体使用	ダイレクト	-	-	-	-	-	フランジ

  通常価格(税別) ：	101,133円
  通常出荷日 ：	6日目