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真空バルブ(フランジ種類:NW)

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

    • おすすめ

    CKD

    高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

    評価 0.0
    CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。【特長】・高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです・アルミボディの採用で軽量、コンパクト・半導体業界 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 複動形 二段形【カタログはこちらをご参照ください】P.93 高真空用 エアオペレイトバルブ NC形 AVB※17シリーズP.97 高真空用 エアオペレイトバルブ 複動形 AVB※37シリーズP.101 高真空用エアオペレイトバルブ 二段形AVB※47シリーズ
    CAD :
    2D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 50,499円~
    通常出荷日 : 3日目
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

    アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能(ベローズシールタイプ)・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 3ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 31,449円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • ステンレス バルブ 真空用 NWフランジボールバルブ

    • 数量スライド割引

    コンサス

    ステンレス バルブ 真空用 NWフランジボールバルブ

    アクチュエーターをヨーク無しで組み立て可能にする真空バルブ。【特長】・グランド部が特殊構造にしており、アクチュエーターをヨーク無しで組立て可能です。・グランド部はOリングとグランドパッキンの2重構造のため、シール性が良好です。・軽量・コンパクト設計のため、配管・メンテナンス時の取り外しが簡単。・フラットハンドル。・スリーピースボディー、フルポート構造、NWフランジタイプです。【用途】・半導体関連やその他装置類、真空配管ラインなどの用途に最適です。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - - - - フランジ
    通常価格(税別) : 22,859円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目
    • 当日出荷可能
  • 高真空アングルバルブ(複動・単動)

    • SALE 2024/09/30まで

    入江工研

    高真空アングルバルブ(複動・単動)

    評価 0.0
    ALLステンレス使用で高い耐食性をもつアングル真空バルブ。【特長】・バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成されている。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易(コンフラットフランジ)。・取り付け姿勢が自由(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨)。
    CAD :
    3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 38,221円~
    特別価格
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • 高真空アングルバルブ(手動型)

    • SALE 2024/09/30まで
    • 数量スライド割引

    入江工研

    高真空アングルバルブ(手動型)

    全てステンレスを使用しているため高い耐食性をもつ手動型アングルバルブ。【特長】・真空バルブの開閉が手動で出来るためスローに開放したりすることが出来る。・全体がコンパクト設計で小型、軽量化。・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない。・取り付け姿勢が自由(特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨)。・機能設計により大きなコンダクタンスが得られる。・片側回転フランジのため、取付けが容易(コンフラットフランジ)。【用途】・汎用の試験機など手動で動かす装置に利用可能。
    CAD :
    3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - - - - フランジ
    通常価格(税別) : 69,712円~
    特別価格
    通常出荷日 : 在庫品1日目
    • 当日出荷可能
  • 手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

    フジ・テクノロジー

    手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

    評価 0.0
    開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・ウォーム・ウォームホイルを採用し、手動でスロットルハンドルを回すことにより、任意にコンダクタンスが可変でき、排気流量の絞りを手動で簡単に行えます・操作は軽く、確実で再現性に優れており手動バルブとして、全開、全閉も出来る便利なバルブです・真空チャンバの圧力を一定に保つ装置では、メイン排気ラインで排気流量コントロールができれば最良であるが、小口径のバイパス配管等やメイン排気ラインへコンダクタンスバルブを入れコントロールすることが必要な場合に、手動で弁開度を任意の位置に固定しコンダクタンスを調整できるコンダクタンスバルブとしての特徴を発揮します
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 97,193円~
    通常出荷日 : 15日目
  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 48,008円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

    フジ・テクノロジー

    バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・新しくなった機構により100万回開閉及び2年保証の高機能タイプです。・ダブルエアーシリンダ方式を採用することにより、弁体開時にはエアー推力が倍増し、さらにエアーダンパー機構により衝撃力は緩和されました。・バイパス流路及びアシスト室をシリンダ内に設けたものがダブルシリンダ方式です。・バイパス流路は弁体開側シリンダ室からアシスト室(弁体閉側シリンダ室のピストン裏側)につながっており、その口径は空気供給口の口径より十分に小さくしてあります。・この機構によりアシスト室に十分な空気が供給(排出)される前にピストン運動が始まりますので、弁体開(閉)時には、アシスト室内の圧力は負(加)圧となり、アシスト室がエアークッションの働きをして衝撃力を緩和します。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 97,193円~
    通常出荷日 : 15日目
  • モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

    フジ・テクノロジー

    モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

    評価 0.0
    【特長】・フルクローズ(全閉)とコンダクタンス調整が1台で出来、最少のコンダクタンス制御も可能です。・差圧状態(真空-大気圧)からオープンさせることができます。・高精度ギヤヘッドの採用により位置精度の再現性が優れています。・全閉・全開の他、最大14ポジションの任意の位置に停止させることができます。・ポジショニング設定は、ティーチングボックスやパソコンソフトで簡単に行えます。・制御用オプション部品を追加することにより、自動圧力制御バルブとしても使用できます。・角度インジケータにより外部から弁体の位置が確認できます。・モータ位置が選択できることで、さまざまなレイアウトへ柔軟に対応可能となり、設置する排気系のスペースを有効活用できます。・フルクローズ(全閉)位置検出用フォトセンサを標準装備。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    機械作動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 255,616円~
    通常出荷日 : 15日目
  • 手動レバーハンドル式バタフライバルブ_AXシリーズ

    フジ・テクノロジー

    手動レバーハンドル式バタフライバルブ_AXシリーズ

    評価 0.0
    開度表示・ロック機構付。バタフライバルブはストレート配管であり、面間が超薄型であるため、同じ口径で比較した場合、バタフライバルブは、真空装置用バルブの中で配管への取り付け幅が薄いという特徴があります。この面間の薄さが開口コンダクタンスの値を大きくすることで、効率の良い排気を可能にしています。【特長】・弁体と直結したレバーハンドルを90度回すことにより開閉ができ、ワンタッチで素早くできるため、取り扱いやすいバルブです
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト - - その他 - - フランジ
    通常価格(税別) : 86,962円~
    通常出荷日 : 15日目
  • インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    アリオス

    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

    評価 0.0
    停電時の真空保管・安全対策に!【特長】・通電中は手動バルブとして機能します・電源のみで動作し、圧縮空気は不要です・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません・電源入力電圧が、AC90~260Vまで切り替えをせずにご使用いただけます・排気セットやリークディテクターのメインバルブに最適です・タイミングリークバルブ(TLV-02) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 410,401
    通常出荷日 : 15日目
  • タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    アリオス

    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

    評価 0.0
    停電時ポンプのオイルバック防止に最適な遅延リークバルブ。【特長】・コンパクト設計により、取り付け場所を選びません。・RP,TMP等に直接取り付けることができます。・遅延時間が 25秒の Sタイプと 45秒の Lタイプ、2種類からご指定いただけます。・大気リーク及びN2等によるガスリークができます。・電源入力電圧は AC 90~260Vと DC 24V に対応しています。・インターロックバルブ (ILV-01) と合わせてお使い頂くことにより、効果的な停電対策が可能です。
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    遅延真空電磁弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルオープン 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 134,357
    通常出荷日 : 3日目
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値
  • おすすめ

高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

      ステンレス バルブ 真空用 NWフランジボールバルブ

      • SALE 2024/09/30まで

      高真空アングルバルブ(複動・単動)

      • SALE 2024/09/30まで

      高真空アングルバルブ(手動型)

        手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

          ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

            バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

              モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

                手動レバーハンドル式バタフライバルブ_AXシリーズ

                  インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                    メーカー

                    CKD

                    SMC

                    コンサス

                    入江工研

                    入江工研

                    フジ・テクノロジー

                    SMC

                    フジ・テクノロジー

                    フジ・テクノロジー

                    フジ・テクノロジー

                    アリオス

                    アリオス

                    シリーズ名

                    高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

                    アルミニウム製 高真空L型バルブ 常時閉/ベローズシール XLAシリーズ

                    ステンレス バルブ 真空用 NWフランジボールバルブ

                    高真空アングルバルブ(複動・単動)

                    高真空アングルバルブ(手動型)

                    手動スロットルバタフライバルブ_AXシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 常時閉/ベローズシール XMA・XYAシリーズ

                    バタフライバルブ・AXOIIシリーズ

                    モータ駆動バタフライバルブ MBV-LDII-MP シリーズ

                    手動レバーハンドル式バタフライバルブ_AXシリーズ

                    インターロックバルブ ILV-01シリーズ

                    タイミングリークバルブ TLV-02シリーズ

                    CAD
                    • 2D
                    • 2D / 3D
                    • 3D
                    • 3D
                    • 2D / 3D
                    通常価格
                    (税別)

                    50,499円

                    31,449円

                    22,859円

                    • 数量別スライド値引

                    38,221円

                    特別価格

                    SALE 2024/09/30まで

                    69,712円

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                    SALE 2024/09/30まで

                    • 数量別スライド値引

                    97,193円

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                    97,193円

                    255,616円

                    86,962円

                    410,401円

                    134,357円

                    通常出荷日 3日目 在庫品1日目~
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                    15日目 在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    15日目 15日目 15日目 15日目 3日目
                    種類空操真空弁空操真空弁手動真空弁空操真空弁手動真空弁手動真空弁空操真空弁空操真空弁機械作動真空弁手動真空弁電磁真空弁遅延真空電磁弁
                    用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
                    設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
                    ポート数2ポート弁3ポート弁-2ポート弁--2ポート弁---2ポート弁2ポート弁
                    ソレノイドの種類シングル---------シングルシングル
                    切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ-2位置ノーマルオープン / 2位置ノーマルクローズ / その他-その他2位置ノーマルクローズその他その他その他2位置ノーマルオープン2位置ノーマルオープン
                    電磁弁駆動の種類---直動形------直動形直動形
                    有効断面積(mm2)------------
                    配管口の種類フランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジ
                    配管ねじの呼び------------
                    接続チューブ径------------
                    フランジ種類NWNWNWNWNWNWNWNWNWNWNWNW
                    フランジ呼び16 / 25 / 40 / 5016 / 25 / 40 / 5025 / 40 / 5016 / 25 / 40 / 5016 / 25 / 40 / 5080 / 100 / 32 / 65 / 5216 / 25 / 40 / 5080 / 100 / 150 / 32 / 65 / 5280 / 10080 / 100 / 32 / 65 / 524025
                    CV値-----------0.05
                    1. 1

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