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真空バルブ(フランジ種類:KF)

真空バルブは、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種です。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければなりません。
遮断バルブ:ゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブ、バタフライバルブ(大気と真空、もしくは異なる圧力空間を遮断する真空空間を隔離するためのバルブで、形状により何種類かのバルブがありますが、圧力領域や用途、真空装置の構造などにより使い分けられています)
コンダクタンスバルブ:ニードルバルブ、バタフライバルブ(空チャンバーに流入するガスの流量をコントロールするためのバルブです)
バルブ自体は、液体や気体の配管などで、その流れを制御するものの総称であり、制御させるものは、方向・圧力・流量となります
また、L型バルブからゲートバルブ、大気圧から超高真空まで、あらゆる領域・条件・用途向けの真空バルブをラインナップしているので、お客様の用途次第で選定頂く事が可能になっています。


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  • アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

    評価 0.0
    駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    電磁真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 シングル 2位置ノーマルクローズ 直動形 - フランジ
    通常価格(税別) : 33,277円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

    圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク(0.5N・m以下)・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 34,586円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化(流量二段制御バルブ)・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni(ニッケル)、Cr(クロム)等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    空操真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 80,908円~
    通常出荷日 : 3日目~
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 42,300円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

    SMC

    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 34,799円~
    通常出荷日 : 3日目~
  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

    評価 0.0
    ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 56,736円~
    通常出荷日 : 3日目
  • ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

    SMC

    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

    評価 0.0
    圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク(0.5N・m以下)・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)・軽量・コンパクト
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    手動真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 48,008円~
    通常出荷日 : 在庫品1日目~
    • 一部当日出荷可能
  • アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

    SMC

    アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

    評価 0.0
    【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 39,448円~
    通常出荷日 : 3日目~
  • ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

    SMC

    ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

    評価 0.0
    ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化(流量二段制御バルブ)・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質:SCS13(SUS304相当)・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け(XMシリーズ)
    CAD :
    2D / 3D
    種類 用途 設置方法 ポート数 ソレノイドの種類 切換の種類 電磁弁駆動の種類 有効断面積(mm2) 配管口の種類
    パイロット真空弁 単体使用 ダイレクト 2ポート弁 - 2位置ノーマルクローズ - - フランジ
    通常価格(税別) : 111,793円~
    通常出荷日 : 3日目~
メーカー
シリーズ名
CAD
通常価格
(税別)
通常出荷日
種類
用途
設置方法
ポート数
ソレノイドの種類
切換の種類
電磁弁駆動の種類
有効断面積(mm2)
配管口の種類
配管ねじの呼び
接続チューブ径
フランジ種類
フランジ呼び
CV値

    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

      アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

        アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

          アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

            アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

              ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

                ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

                  アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

                    メーカー

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    SMC

                    シリーズ名

                    アルミ製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランス XLSシリーズ

                    アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシール XLHシリーズ

                    アルミニウム製 高真空L型バルブ 二段制御・単動/ベローズシール・Oリングシール XLDシリーズ

                    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/ベローズシール XLCシリーズ

                    アルミニウム製 高真空L型バルブ 複動/Oリングシール XLGシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 複動/ベローズシール XMC・XYCシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型/ストレート型バルブ 手動/ベローズシール XMH・XYHシリーズ

                    アルミ製 高真空L型バルブ 常時閉 Oリングシール XLFシリーズ

                    ステンレス製 高真空L型・ストレート型バルブ 二段制御単動 ベローズ・Oリングシール XMD・XYD

                    CAD
                    • 2D / 3D
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                    通常価格
                    (税別)

                    33,277円

                    34,586円

                    80,908円

                    42,300円

                    34,799円

                    56,736円

                    48,008円

                    39,448円

                    111,793円

                    通常出荷日 在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    3日目~ 在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    3日目~ 3日目 在庫品1日目~
                    一部当日出荷可能
                    3日目~ 3日目~
                    種類電磁真空弁手動真空弁空操真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁手動真空弁パイロット真空弁パイロット真空弁
                    用途単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用単体使用
                    設置方法ダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクトダイレクト
                    ポート数2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁2ポート弁
                    ソレノイドの種類シングル--------
                    切換の種類2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ2位置ノーマルクローズ
                    電磁弁駆動の種類直動形--------
                    有効断面積(mm2)---------
                    配管口の種類フランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジフランジ
                    配管ねじの呼び---------
                    接続チューブ径---------
                    フランジ種類KFKFKFKFKFKFKFKFKF
                    フランジ呼び16 / 2516 / 25 / 40 / 5025 / 40 / 5016 / 40 / 5016 / 25 / 40 / 502516 / 25 / 4016 / 25 / 40 / 50 / 6340 / 50
                    CV値---------
                    1. 1

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