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接続／構成例／取扱説明書

自動ステージの仕様を検討中です。実際に動かすためにはステージ以外に何が必要になりますか？

◆当社推奨ステッピングモータコントローラ（MSCTL102/MSCTL112）を使用される場合
[ハンディターミナルでの操作]
①自動ステージ
②コントローラと自動ステージを接続するケーブル
③ハンディターミナル（HDT100）

[PCでの操作]
①自動ステージ
②コントローラと自動ステージを接続するケーブル
③PCとコントローラを接続するケーブル（RS232CケーブルもしくはUSBケーブル）
※RS232C・USBケーブルは市販の製品でも問題はありません。
※当社での販売型式（別売）　RS232C：MSRS232C、USB：MSUSB1.8
※RS232Cケーブルの市販品を使用する場合は結線の確認が必要（クロスケーブル）
以下の結線図をご参照下さい。

駿河精機製のコントローラ（MSCTL102/MSCTL112）と自動ステージ4軸を購入しようと考えています。
どう繋げて使えば良いですか？コントローラは2台必要になりますでしょうか？

4軸を制御する場合は、当社コントローラが2台必要となります。
専用のリンクケーブル（型式：MSLINK2-0.5)でコントローラ同士を接続します。

コントローラへの指令は、親機として設定したコントローラに対してのみおこないますので、必要なハンディターミナルはひとつとなります。

寸法／公差／図面／材質

自動X軸ステージ(XMSG413-L□-24V)の高さの公差はどの程度でしょうか？

高さ方向の公差は規定されていません。

自動回転ステージ（RMWG75-N）の透過穴部の嵌め合い公差はどの程度でしょうか？

H7となっています。

XMSG615-RA-24Vで検討をしています。
駿河精機WebサイトからCADデータをダウンロードしようとしましたが、5V仕様（XMSG615-RA）しか
データがありません。24V仕様のデータはないでしょうか？

5V仕様と24V仕様に分かれているリニアボールガイドステージ（XMSGシリーズ）ですが、外形／スペックは共通となるため、
5V仕様のみの掲載となっています。

外形は同じですが、Web2CAD社のPartCommunityで製品選定をする際は 24Ｖ仕様の選択が可能です。
ただし、駿河精機の型番で作成されます。型番は、「PG413-L24AG」で作図できます。

PartCommunityはこちら

RMDG40-N-Nの外形寸法図を見ると、ステージ上面テーブルの中心に『透過穴径φ8（H7）』と記載がある。
この透過穴はステージ上面テーブルも本体部も中心が揃ったφ8mmの透過穴になっているという
認識でよいでしょうか。

φ8mmとありますが、実際にはステージ上面テーブル部はφ8.2、本体部分はφ8となっています。
また、透過穴の中心軸はステージ上面テーブルの透過穴と揃っていません。
そのため基準となる透過穴に対して、上面テーブルの穴径を大きくしています。

オーバーハング／取付向き／耐荷重

各種ステージ（X軸、水平面Z軸、回転、ゴニオ）を縦使いとなるようにブラケットに取り付けて使用することを
検討しています（側面垂直使い）。
カタログに記載している耐荷重（水平置き）と比べて、どのくらい耐荷重は悪化しますでしょうか？

■X軸ステージの場合
当該ステージにブラケットを取り付けたZ軸ステージの型式がある場合は、そちらの耐荷重をご参照下さい。（例 XMSG413-LA-24V→ZMSG413-LA）

■その他製品
各製品のスペックは平面に設置したときを条件としています。
ステージのガイドにかかる荷重が変化するため、側面垂直で取り付けをした場合の耐荷重を明確に定義することはできません。

以下はあくまで目安となります。

◆側面垂直使いでの使用NG
・回転ステージ（ダイレクトドライブ）

◆荷重ポイントがステージ上面の中心近くにあれば使用することは可能。
水平置きの30％以下
※オーバーハングする位置に荷重がかかる場合は、目安耐荷重も推定をすることができず、使用をお勧めしておりません。
・回転ステージ（ダイレクトドライフ゛）以外の製品

原点センサ／リミットセンサ

自動回転ステージ（RMWG75）はリミットセンサ用の遮光板の位置が変更できると
カタログに記載されているが、調整方法を教えてください。

上面プレートにM3セットボルトの遮光板用クランプがあります。
カタログ記載図ですと、リミットセンサのスイッチボックスに近いところです。
ここを緩めると上面図（カタログ記載図）12時方向と9時方向にある突起部分が動くようになります。

この突起部分を動かすと遮光板がスライドします。
任意の角度で場所を決めたら、再度上面の遮光板用クランプを締めてください。

速度設定

自動X軸ステージを購入しました。MAXスピードで動かす際の加速度を教えてください。

起動パルス、加減速時間の設定により、加速度の値は変わってきます。
以下に弊社コントローラ（MSCTLシリーズ）の速度テーブル7番を選択し、フルステップ設定した場合の値を例に計算します。

▼速度テーブル7番
-------------------------
起動速度　　：1000pps
駆動速度　　：10000pps
加減速時間 ：100msec
-------------------------
※駿河精機のコントローラは加速度ではなく、加減速時間で設定をします。

＜計算＞
例．分解能：1μm/パルス、MAXスピード：10mm/secの製品を使用した場合
1000pps（起動速度）から10000pps（駆動速度）に100msec（加減速時間）で達する設定となっています。
そのままの加速レートで1秒（1000msec）後まで速度があがった場合の駆動速度を求めます。

（駆動速度：10000pps − 起動速度：1000pps） ÷ 加減速時間：100msec × 1000msec ＋ 起動速度：1000pps ＝ 91000pps

1パルス当たりの移動量が1μmなので、91000ppsでの駆動速度は、91000μm（＝0.091m）となります。

したがって、加速度は『0.091m/sec^2』

ケーブル関係／セット型式付属品

電磁ブレーキのモータオプションを選定すると、ドライバもセットとなるようですが、
具体的に何が付属されますか？付属ケーブルについても教えてください。

◆□□CVLシリーズシリーズ

  • ドライバ：RKD507M-A（オリエンタルモーター社製）
  • モータケーブル（3m)：STPO-RK2-A3
  • センサケーブル(2m)：HR10AP-S-A-6-2

◆XMSGシリーズ

  • ドライバ：RKD507M-A(オリエンタルモーター社製）
  • モータケーブル(3m)：STPO-RK2-A-3
  • センサケーブル[リミット/近接原点](2m)：PG-H-ASSY5-2000
  • センサケーブル[スリット原点](1m)：PM-L24
αステップのモータオプションを選定すると、ドライバもセットとなるようですが、
具体的に何が付属されますか？付属ケーブルについても教えてください。

◆□□CVL-Xシリーズ

  • ドライバ：ASD10A-K（オリエンタルモーター社製）
  • モータケーブル（3m)：STPO-AS1-B-3
  • センサケーブル(2m)：HR10AP-S-A-6-2

◆XMSGシリーズ

  • ドライバ：ASD10A-K(オリエンタルモーター社製）
  • モータケーブル(3m)：STPO-AS1-B-3
  • センサケーブル[リミット/近接原点](2m)：PG-H-ASSY5-2000
サーボモータのモータオプションを選定すると、アンプもセットとなるようですが、
具体的に何が付属されますか？付属ケーブルについても教えてください。

◆□□CVLシリーズ

  • ドライバ：MR-J3-10A（三菱電機社製）
  • モータケーブル（3m)：SVPM-J3HF1-B-3-02S
  • エンコーダケーブル(3m)：SVEM-J3HF1-B-3
  • センサケーブル(2m)：HR10AP-S-A-6-2

◆XMSGシリーズ

  • ドライバ：MR-J3-10A(三菱電機社製）
  • モータケーブル(3m）：SVPM-J3HF1-B-3-02S
  • エンコーダケーブル(3m）：SVEM-J3HF1-B-3
  • センサケーブル[リミット/近接原点](2m)：PG-H-ASSY5-2000
付属ケーブル（型式：MSCB2B-R）の太さと最小曲げ半径を教えてください。

◆ロボットケーブル

  • 仕上外形：6.70±0.15mm（導体構成：50本／0.08mm[24AWG]、導体外径：約0.65mm）
  • 最小曲げ半径：R33mm

通常ケーブルは以下の通りです。

◆通常ケーブル

  • 仕上外形：6.70±0.15mm（導体構成：40本／0.08mm[24AWG]、導体外径：約0.65mm）
  • 最小曲げ半径：R33mm
ケーブル（MSCB）結線図を見ると、センサ電源がDC5Vとなっているが、24Vでは使えないのでしょうか。

24Vでの使用も問題ありません。センサ電源5V/24Vともに同じケーブルを使用しています。

5相ステッピングモータドライバもしくはMSDR24Nの採用を考えています。
コントロールボードや電源と繋ぐ際の配線ケーブルは、どのように選定すればよいのでしょうか。

■電源ケーブル
AWG22(0.3mm2)のケーブルをご使用下さい。

■I/Oケーブル
AWG24(0.2mm2)～AWG22(0.3mm2)のケーブルをご使用下さい。

＜ご案内＞

MSDR24Nをご使用いただく場合、各機器を接続するには、付属のコネクタに専用工具を用いて圧着作業をする必要があります。
(圧着工具 Molex社製 57295-5000 ミスミで取り扱っております。)
圧着工具をお持ちでなかったり、誤配線によるドライバ破損を未然に防止したいお客様には、以下の商品をご案内致します。

  • 品名:DC24V系入力ドライバ用ケーブル(カタログ未掲載品)
  • 型式:MSDR24-CB
  • 価格:\1,950、-(2014年7月現在。予告なく価格改定されることがございます。)
  • 構成:
    • ① MSDR24NのCN1(DC24V入力)と電源間
    • ② MSDR24NのCN2(上位コントローラ信号入出力)と上位コントローラ間
    • ③ MSDR24NのCN3(モータリード用)とモータ間
    • 各長さ600mmの3本セット
  • コネクタ配線済みで、MSDR24Vと反対側は、バラ線になっておりますので、各機器との間に端子台を設けることで、
    直接配線することができます。

温度／真空／振動などの使用環境

クリーンルームでの使用は可能でしょうか？

クリーン環境用ステージとはなっておりません。

グリース交換の対応のみとなります。
①THK社製・クリーン環境用グリース・AFF／②NSK社製・クリーン環境用グリース・LG2）
オプションコード（型式の末尾に"-J"もしくは"-K"）での発注が可能です。

▼□□CVL（リニアボールガイド）シリーズ
ベアリング部を除き、標準でクリーン環境用グリース（AFF）を使用しています。

■対象外製品 自動ゴニオステージ、自動回転ステージ、水平面Z軸ステージはグリース交換対応不可となります。

メンテナンス／グリース／製品寿命

型式の末尾に「-J」と付けるとクリーン環境用グリース（ＴＨＫ社ＡＦＦグリース）のオプションを選べますが、
対応していない製品はありますでしょうか？

自動ゴニオステージ及び自動回転ステージのグリース交換は、全て特注対応となります。
末尾コードでのご注文はできません。

また、□□CLV（リニアボールガイド）シリーズ及びスライドガイドシリーズは標準でAFFグリースを使用しているため、末尾『-J』は不要となります。

XMSGシリーズのガイド部に使われているグリースを教えてください。

メーカー名：昭和シェル
製品名：アルバニヤグリース
型式：S2

※製品改良のため予告無く変更する可能性がございますのでご承知置きください。

□□CVLシリーズのガイド部に使われているグリースを教えてください。

メーカー名：THK
製品名：クリーン環境用グリース
型式：AFF

※製品改良のため予告無く変更する可能性がございますのでご承知置きください。

特注／改造／追加工

XCVL6300-2-N-F-NをXYで組み付けて使用することを検討している。
標準品で販売しているXYCVL630-1-N-C-Nのように中心で組み付けるのではなく、
ズラした位置（下軸に対して、上軸の中心がオーバーハング）としたい。
使用上の問題はないでしょうか？

300mmストロークの製品となりますので、上軸の移動時に変位（たわみ）の生じる可能性があります。
精度を安定させるのであれば、サポートガイドの使用をお勧めします。
型式：SSEBW14-390
「駿河精機での取扱商品である」

※カバー付きのステージの場合は、型式がSSEBW14-390と型式が異なるのでご注意下さい。
※購入方法については、ミスミにご相談ください。

ステージへの追加工(タッフ゜穴など)は可能ですか？

内容によりカスタム（特注）での検討となります。詳細はお問合せください。

お問い合わせはこちらから

こちらで指定したメーカーのサーボモータへ交換してもらうことはできますでしょうか？

内容によりカスタム（特注）での検討となります。詳細はお問合せください。

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その他：使用時の注意点など

こちらで指定したメーカーのサーボモータへ交換してもらうことはできますでしょうか？

内容によりカスタム（特注）での検討となります。詳細はお問合せください。

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修理

ステージを落としたときにガイドに打痕がはいってしまったようです。
修理をお願いしたいのですがどうすればよいでしょうか？

ガイド以外に問題がないか実機をお預かりしてから修理対応可否の判断と修理見積のご提示を致します。
（ご発注）をいただいてから、修理作業に着手致します。

症状の確認、発送先及び発送いただく際の管理№などをご案内を致しますので、まずは以下「アクチュエータ専門の技術問い合わせ窓口」までご連絡をいただけますでしょうか。
TEL:03-5805-7088 「受付時間：月～金　9:00～12:00、13:00～18:00」
FAX:03-5805-7292

メールでのご連絡はこちらから

故障診断

カメラの位置調整に自動X軸ステージ（XMSG413-LA-24V）を使用しています。
画像を見ながら調整していますが、ガタ付きが大きいように感じます。

平面度の粗い対象物を取り付けたり、平面度の粗い物に取り付けますと、ステージ面を変形させ、精度に影響を及ぼす場合がございます。（平面度の目安は10μm以内となります。）
対象物及び取り付け箇所の平面度をご確認ください。

自動X軸ステージ（XMSG413-LA-24V）を使用しています。
カタログスペック（MAXスピード・耐荷重）内で使用していますが、ステージが脱調してしまいます。
どのような要因が考えられますでしょうか？

脱調はモータに対して過度な負荷がかかったときに生じます。

具体的な要因は様々ですが、以下のような要因が考えれます。

①加速スピードが早すぎる
→ 加減速の設定を遅くしてください。

②使用温度が低く、グリースが硬化している
→装置温度が安定するまで暖気運転をしてください。

③モーメント荷重がかかりすぎている。
→極力ステージ上面の中心に近いところに荷重がかかるようにしてください。

用語／定義（精度・単位など）

XCVL6150-2-N-F-NをMSCTR102に接続して使おうとしています。
最大速度を25mm/secで設定したいです。
取扱説明書を読みましたが、速度設定がppsで書かれていて、今ひとつよくわかりません。
どのように計算すれば良いでしょうか？

コントローラの分割数設定がFULLステップ（※）という前提でお答えします。

ppsとはpulse/secという意味です。
速度単位を[mm/sec]から[pulse/sec]に変換する必要があります。

XCVL6150-2-N-F-Nの分解能（カタログ記載値）は 「4μm（FULL）」となります。
つまり、1パルスあたり4μm移動することになります。
1[pulse]=4[μm]　⇒　1[μm]=0.25[pulse]　-①

速度を分解能の単位[μm]に変換します。
（速度）=25[mm/sec]=25,000[μm/sec]　-②

②に①を代入します。
（速度）=25,000[μm/sec]=25,000×0.25[pulse/sec] =6,250[pulse/sec]

ppsを6,250に設定すれば、25mm/secでの駆動が可能となります。

※FULLステップとは？
モーターの構造により決まる基本ステップ角であり、これをFULLステップと呼びます。
5相ステッピングモーターでは一般的に0.72°となります。
稀に基本ステップ角が0.36°のモータもあるため、モータの分解能からステージの分解能を算出する際は使用するモータの仕様を確認する必要があります。

FULLステップに対し、励磁方式、電流制御により1パルスあたりの移動角度を細分化する技術があります。
これらをHALFステップ、マイクロステップと呼び、HALFは基本ステップ角の半分（基本ステップ角度が0.72°の場合、1パルスあたり0.36°）、マイクロステップに至っては基本ステップ角の1/250（基本ステップ角が0.72°の場合、1パルスあたり0.00288°）まで分割可能です。

これにより、モータの分解能を小さくする⇒ステージの分解能を小さくする、ということが可能になります。
実際のステージ動作には摺動抵抗、弾性変形が介在します。
そのためモータの分解能をあまり小さくしすぎてもステージ側の動作が必ずしも追従する訳ではありませんのでご注意ください。
一般に1/8～1/20分割までがステージの追従する限界となります。

XCVL6、またはXCVLC6シリーズ（リード2mmタイプ）のサーボモータ仕様を検討しています。
この製品の最小分解能はいくつになりますでしょうか。

使用している三菱電機社製のACサーボモータ（型式：HF-KP053）は18ビットエンコーダのタイプであり、モータ一回転(360°)で262144分割することができます。※262144P/R

モータ一回転でステージは2mm(2000μm)移動する製品です。
したがって、『2000μm/262144≒0.0076294μm』が理論上の最小分解能となります。
※実際の追従性とは異なります。上記分解能での移動を保証するものではありません。

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