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- 415
- 460
- 440
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使用環境
- 標準
- 耐食性
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付加機能
- なし
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- 強制給油機構
- アンローダー機構
- ガスバラスト機構
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メーカー
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真空ポンプ（真空ポンプ種類：油回転形）
真空ポンプの通販サイトです。ドライポンプ、油回転ポンプ、メカニカルブースターポンプ、クライオポンプ等幅広く取り揃えています。
こちらのサイトでお探しの真空ポンプを商品仕様、型番、メーカー名等で検索できます。真空状態（真空度）に合わせて、求められるポンプが異なりますので用途にあったポンプを選定するようにしてください。
アルバック機工、EDWARDS、オリオン機械、日東工器、日本ピスコ、妙徳等をお取り扱い。その他国内外ブランドのお取り扱いもご要望に応じて適宜検討いたします。
【真空ポンプ詳細】
真空ポンプは吸気口、排気口、ポンプの3つから構成されます。
吸気口：気体の吸気口で真空チャンバーなどと真空フランジで接続される。排気速度は単位時間当たりの吸気口を通過した気体の量で測り、JIISで定められている。
排気口：真空ポンプ内部に入れられた気体がチャンバー等から排出され、排気口より排出されます。
ポンプ：気体の排気動作を行う大元。ポンプも多種あるので、排気方法、排気性能等に応じ使い分けが必要です。
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【真空ポンプ詳細】
真空ポンプは吸気口、排気口、ポンプの3つから構成されます。
吸気口：気体の吸気口で真空チャンバーなどと真空フランジで接続される。排気速度は単位時間当たりの吸気口を通過した気体の量で測り、JIISで定められている。
排気口：真空ポンプ内部に入れられた気体がチャンバー等から排出され、排気口より排出されます。
ポンプ：気体の排気動作を行う大元。ポンプも多種あるので、排気方法、排気性能等に応じ使い分けが必要です。
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アルバック
評価 0.0【特長】・ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モーターを採用しています・低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです・大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています・メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです【用途】・蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置・分析機器、リークテスト装置・真空乾燥、ガス置換など各種真空装置環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 - - - 強制給油機構 通常価格(税別) ： 371,122円～ 通常出荷日 ： 1日目～ -
アルバック機工
評価 0.0【特長】・マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。・ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。・真空乾燥器、凍結乾燥器。環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 - - 標準 なし 通常価格(税別) ： 188,999円～ 通常出荷日 ： 1日目～ -
VALUE（バリュー）
評価 4.0 平均満足度4.0【特長】・油回転形の真空ポンプ VRDシリーズです。・ドライ形種類は、ダイヤフラム形です。環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 ダイヤフラム形 - - - 標準 逆流防止機能 / 強制給油機構 / アンローダー機構 / ガスバラスト機構 通常価格(税別) ： 143,128円 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
-
アルバック機工
評価 0.0スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現。・持ち運びが便利、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。低騒音で低振動。 。・手動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - 6～7 AC 100 / 200 / 220 / 230 / 240 / 380 / 400 / 460 / 440 標準 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 通常価格(税別) ： 143,483円～ 通常出荷日 ： 5日目～ -
アルバック機工
評価 0.0スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・1段排気方式は、2段排気方式より安価。・逆流防止機構搭載モデルは、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 標準 逆流防止機能 通常価格(税別) ： 74,899円 通常出荷日 ： 4日目 -
アルバック機工
評価 0.0スタンダードな回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・サーマルプロテクタの内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。・真空ポンプ油の使用により回転部の潤滑と真空封止をし、高真空が安定して得られる信頼性の高いポンプ。【用途】・真空源を必要とする機器全般に利用可能。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 標準 なし 通常価格(税別) ： 69,899円 通常出荷日 ： 4日目 -
アルバック機工
評価 0.0スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 / 200 標準 なし 通常価格(税別) ： 69,899円～ 通常出荷日 ： 5日目～ -
アルバック機工
評価 5.0 平均満足度5.0スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 標準 なし 通常価格(税別) ： 79,899円 通常出荷日 ： 5日目 -
アルバック機工
評価 0.0スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・1段排気方式は、2段排気方式より安価。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 標準 なし 通常価格(税別) ： 59,899円 通常出荷日 ： 4日目 -
アルバック機工
評価 0.0【特長】・小さいサイズながらも、大きな排気速度。・マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現。・吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。・低騒音で低振動。・電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。【用途】・理化学機器、検査、測定機器、研究設備。環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 / 120 標準 なし 通常価格(税別) ： 128,999円 通常出荷日 ： 5日目 -
アルバック機工
評価 0.0低騒音で低振動、省エネで環境にやさしい耐食性油回転真空ポンプ。【特長】・接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。【用途】・真遠心分離、真空乾燥、真空凍結、真空濃縮、真空ろ過など耐食性を必要とする真空源に利用可能。・ロータリーエバポレーター、医療機器、製薬用機器、特殊ガス置換、分析機器、理化学機器などに最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 耐食性 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 通常価格(税別) ： 198,999円 通常出荷日 ： 在庫品1日目 - 当日出荷可能
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アルバック機工
評価 0.0スタンダードな油回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現。・持ち運びが便利、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・手動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。【用途】・真空源を必要とする機器全般、理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器に最適。・真空排気装置、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。真空乾燥器、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 / 200 耐食性 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 通常価格(税別) ： 298,999円～ 通常出荷日 ： 7日目～ -
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ヤマト科学
評価 0.0【特長】・サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です・高真空が得られる2段排気方式です・持ち運びが簡単で、装置組込用としても最適です【用途】・減圧環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 - 100 / 120 / 200 標準 逆流防止機能 通常価格(税別) ： 125,022円～ 通常出荷日 ： 11日目 -
アルバック機工
評価 0.0スタンダードな回転翼型（ゲーテ型）真空ポンプ。【特長】・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプ。・小型で持ち運びが便利な真空ポンプで、装置組込みに適したコンパクトサイズ。・ベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得られるモータ直結型。・低騒音で低振動。・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力（良い真空）。・サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータにより、メンテナンスが容易。【用途】・真空乾燥器、真空排気装置、真空蒸着装置など真空源を必要とする機器全般に利用可能。・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器、電子顕微鏡のバックに最適。・半導体製造装置、スパッタ装置、凍結乾燥器に最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 標準 なし 通常価格(税別) ： 67,257円 通常出荷日 ： 5日目 -
アルバック機工
評価 0.0逆流防止機能付、接ガス部面に表面処理を施した耐食性油回転真空ポンプ。【特長】・接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。・低騒音で低振動。・オイルフィルトレーションシステムに接続可能。・逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。・強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。・大気圧からの作動が可能。・内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。【用途】・真遠心分離、真空乾燥、真空凍結、真空濃縮、真空ろ過など耐食性を必要とする真空源に利用可能。・ロータリーエバポレーター、医療機器、製薬用機器、特殊ガス置換、分析機器、理化学機器などに最適。- CAD ：
- 2D
環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - ～1 AC 100 耐食性 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 通常価格(税別) ： 248,999円 通常出荷日 ： 7日目 -
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アルバック
評価 0.0【特長】・ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます・モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます【用途】・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器・真空排気装置、電子顕微鏡のバック・半導体製造装置環境対応 真空ポンプ種類 ドライ形種類 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) 電源 電圧(V) 使用環境 付加機能 - 油回転形 - 7～ AC 100 標準 - 通常価格(税別) ： 50,232円 通常出荷日 ： 2日目
| メーカー |
|---|
| シリーズ名 |
| CAD |
| 通常価格 (税別) |
| 通常出荷日 |
| 環境対応 |
| 真空ポンプ種類 |
| ドライ形種類 |
| 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) |
| 電源 |
| 電圧(V) |
| 使用環境 |
| 付加機能 |
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| メーカー | アルバック | アルバック機工 | VALUE（バリュー） | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック機工 | ヤマト科学 | アルバック機工 | アルバック機工 | アルバック |
| シリーズ名 | ||||||||||||||||
| CAD |
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| 通常価格 (税別) | 371,122円～
| 188,999円～ | 143,128円 | 143,483円～ | 74,899円 | 69,899円 | 69,899円～ | 79,899円 | 59,899円 | 128,999円 | 198,999円 | 298,999円～ | 125,022円～
| 67,257円 | 248,999円 | 50,232円
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| 通常出荷日 | 1日目～ | 1日目～ |
在庫品1日目
当日出荷可能 | 5日目～ | 4日目 | 4日目 | 5日目～ | 5日目 | 4日目 | 5日目 |
在庫品1日目
当日出荷可能 | 7日目～ | 11日目 | 5日目 | 7日目 | 2日目 |
| 環境対応 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 真空ポンプ種類 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 | 油回転形 |
| ドライ形種類 | - | - | ダイヤフラム形 | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - | - |
| 到達真空圧力（絶対圧力）(Pa×10 ４乗)(Pa) | ～1 | ～1 | - | 6～7 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | ～1 | 7～ |
| 電源 | - | - | - | AC | AC | AC | AC | AC | AC | AC | AC | AC | - | AC | AC | AC |
| 電圧(V) | - | - | - | 100 / 200 / 220 / 230 / 240 / 380 / 400 / 460 / 440 | 100 | 100 | 100 / 200 | 100 | 100 | 100 / 120 | 100 | 100 / 200 | 100 / 120 / 200 | 100 | 100 | 100 |
| 使用環境 | - | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 標準 | 耐食性 | 耐食性 | 標準 | 標準 | 耐食性 | 標準 |
| 付加機能 | 強制給油機構 | なし | 逆流防止機能 / 強制給油機構 / アンローダー機構 / ガスバラスト機構 | 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 | 逆流防止機能 | なし | なし | なし | なし | なし | 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 | 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 | 逆流防止機能 | なし | 逆流防止機能 / 強制給油機構 / ガスバラスト機構 | - |
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