駿河精機 レーザオートコリメータ

「繰り返し再現性：保証値1秒（0.0003度）」「ビーム径：最小Φ0.5mm」高精度・高分解能を実現したレーザオートコリメータです。また、コリメート調整に必要な「角度とビームダイバージェンス」測定も可能なモデル。【特長】・PC制御タイプで測定結果管理しやすい・レーザ波長：赤（660nm）/青（405nm）・ビーム径：Φ0.5mm/Φ1mm/Φ3mm・初期校正不要【用途】・PC制御で治具使い・コリメート調整（角度とビームダイバージェンス）・微小光学素子の角度測定など

変位と傾き角度を同時測定！三角測量とオートコリメータの測定方式をひとつにした3軸センサです。透明体の複数層を1度に計測することが可能。測定には測定用アプリケーション「Suruga OptGuage」をダウンロードしたPCが必要です。【特長】・ワークが傾いても角度補正機能で正確に変位測定可能・PC操作でリアルタイムにデータ取得しながらワーク調整可能・内部光源波長660nm【用途】・半導体ウエハやマスクの姿勢測定・イメージセンサの傾きと高さの同時測定

「繰り返し再現性：1秒（0.0003度）」高精度・高分解能を実現したレーザオートコリメータです。【特長】・手のひらサイズで高性能・レーザ波長ラインナップ：赤（655nm）/青（450nm）/緑（520nm）/赤外（852nm）・初期校正不要・KC/CE/FCC/FDA対応【用途】・省スペース実装、装置組込み・光学部品の角度調整・ARコート付き光学素子の角度測定など

レーザオートコリメータ Smart LACを始めとする各種光センサを設置する際、光軸のあおり調整に使用します。2軸のあおり調整とロック機構が便利です。

レーザオートコリメータSmart LACマルチスポット測定（H410）の機能を絞ることで"低価格"を実現したレーザオートコリメータです。【特長】・測定結果は一点のみの表示・複数の反射光の中から任意で測定スポットを選択可能・レーザ波長ラインナップ：赤（655nm）/青（450nm）/緑（520nm）/赤外（852nm）・KC/CE/FCC/FDA対応【用途】・生産ラインへの装置組込み向け・ARコート付き光学素子の角度測定など

レーザオートコリメータ Smart LAC専用製品の接続ケーブル/通信ケーブル/端子台です。HSHC1：レーザーオートコリメータ Smart LACセンサヘッド（H410）とレーザーオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）を接続するためのケーブルです。・1.5m、4m、10mの3種類ありますHLANC1-2：レーザーオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）用LANケーブルです。・RJ-45コネクタ・伝送方式：1000Base-T、100Base-TX・通信方式：TCP/IP、UDP/IP、ソケット通信・測定データ出力、制御コマンド入出力HRSCC1-2：レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）用RS232Cケーブルです。・D-sub 9pin コネクタ（クロスケーブルを使用）・ボーレート：9600、19200、38400、57800、115200・測定データ出力、制御コマンド入出力HTM1-3：レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）制御用3極端子台です。

簡単設定・タッチパネルモニタで設定変更・基本設定のみで直ぐに測定・リセット機能で直ぐに工場出荷時設定へ復元・コピー機能で重要設定を複製保存（最大6ファイル）、補助ツールでPC保存もOKマルチ測定・最大5点のスポットを同時解析自動化・制御用I/Oとシリアルインタフェース、およびイーサネットを標準装備・全自動装置への組み込みが可能高速データ出力・最大フレームレート25msでのデータ出力に対応（デフォルト設定時）その他・エラーをランプでお知らせ・トリガー機能搭載で任意タイミングのデータ取得・レーザオートコリメータ Smart LAC センサヘッド（H410）固有設定値の分離でレーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU-1000）との組み合わせ自由・お客様使用の校正値へ簡単切り替え・制御I/OでレーザON/OFFを外部制御＊レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU-1000）の単品販売です。＊測定にはレーザオートコリメータ Smart LAC センサヘッド（H410）1台とレーザオートコリメータ Smart LAC センサヘッドケーブル（HSHC1）1本が必要です。

レーザオートコリメータ Smart LACを始めとする各種光センサを設置することができます。HA14：スタンドベース、ポール、ロッドブラケット（HB10-RB20）で構成されます。HB10-RB20：チルトステージ（HB10）をポールに取り付ける際に使用するブラケットです。＊スタンド（HA14）には、 ロッドブラケット（HB10-RB20）が含まれています。＊チルトステージ（HB10）は別売です。

「最大8台接続」「高速サンプリング速度160kHz」ワーク対応力抜群の非接触で測れる高精度レーザ変位計です。センサヘッドにコントローラを内蔵した省スペース設計モデル。【特長】・低反射～高反射まで様々なワークを簡単測定・コントローラ不要で低価格を実現・センサヘッドは防水防塵規格IP67対応【用途】・ミラー、黒ゴム、アルミ、ウエハなどの厚み測定・ガラスの厚み（1mm）測定

レーザオートコリメータ Smart LAC用モニタセットと各種接続ケーブルです。HMNT1：レーザオートコリメータ SmartLAC 画像処理部（HPU）用の8インチ液晶タッチパネルモニタです。HDCC2-2：レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）とレーザオートコリメータ Smart LAC用モニタ（HMNT1）接続・電源ケーブル/レーザオートコリメータ Smart LAC モニタ（HMNT1）への電源供給用ケーブル（長さ：2m）です。HRGBC1-2：画像処理部（HPU）とレーザーオートコリメータ Smart LAC モニタ（HMNT1）接続・RGBケーブル/映像ケーブル（長さ：2m）ですHRGBC1-2：レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）とレーザーオートコリメータ Smart LAC用モニタ（HMNT1）接続・RGBケーブル/映像ケーブル（長さ：2m）です。HUSBC1-2：レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）とレーザーオートコリメータ Smart LAC用モニタ（HMNT1）接続・USBケーブル/タッチパネルケーブル（長さ：2m）です。

レーザオートコリメータSmart LAC用、分岐・折り返しアダプタとセンサヘッドへ取り付けるためのアダプタプレートです。【特長】H410：・各種ステージへの取付用、およびレーザオートコリメータSmart LAC対向ビーム分岐、分岐・折り返しアダプタ（HT）を取付るためのプレートです・分岐・折り返しアダプタ（HT-20、30、90）と対向ビーム分岐アダプタ（HPU-500SET-175R-T、HPU-500SET-175B1-T、HPU-500SET-175G1-T、HPU-500SET-175S1-T）（H410-175R-T、H410-175B1-T、H410-175G1-T、H410-175S1-T）取付用のH410-HTP、ゴニオ・回転ステージ取付用のH410-SAPの2種類がありますH420：・各種ステージへの取付用、およびレーザオートコリメータSmart LAC対向ビーム分岐、分岐・折り返しアダプタ（HT）を取付るためのプレートです・分岐・折り返しアダプタ（HT-20、30、90）と対向ビーム分岐アダプタ（H420CL-135B2-05-300A-T、H420CL-135B2-10-300A-T、H420CL-135R2-10-300A-T）取付用のH420-HTP、ゴニオ・回転ステージ取付用のH420-SAP、チルトステージHB10取付用のH420-APの3種類がありますHT：・光軸を分岐・折返します。分岐により多点測定が可能です・90度折り返しアダプタ（HT-90）、2ビーム分岐アダプタ（HT-20）、3ビーム分岐アダプタ（HT-30）の3種類があります

レーザオートコリメータ Smart LAC 画像処理部（HPU）用ACアダプタ/DC電源ケーブルです。

レーザポジショニングセンサSmart LPS 1D専用のセンサヘッドケーブル/Ethernetケーブル/電源・入出力ケーブルです。【特長】・HMYSHC：レーザポジショニングセンサSmart LPS 1D（H810）のセンサヘッドとPC/PLC/電源を接続するためのケーブルです。3m、5m、10mの3種類あります・HM12NET：レーザポジショニングセンサSmart LPS 1D（H810）のEthernetケーブルです。センサヘッドケーブルと合わせて使用します。長さは1m・HM12PS：レーザポジショニングセンサSmart LPS 1D（H810）の電源・入出力ケーブルです。センサヘッドケーブルと合わせて使用します。長さは1m

Cマウント規格で取り付けられるフィルタホルダ。Smart ProCoへ入射させる光を調整できます。