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CC-10の大気圧と荒引圧力測定に使用しているクリスタルセンサは水晶振動子の振動抵抗が圧力によって変化する現象を利用して圧力を計っています。熱伝導現象を利用したピラニゲージなどに比べて抜群の安定性を持っています。このためにチャンバーを大気に戻す(パージ)時の圧力検出に安定して使用できます。(下図に示すように±1%以内の繰り返し安定性が得られています)また、温度変化に対する安定性も優れているために、液体窒素の蒸気などの低温ガスに晒されても安定した測定ができます。
取り付けが簡単で、圧力ごとに真空計を使い分ける必要もなく、この1台だけで広範囲に測定できました。
センサ部が汚れて測定に影響がでてきても、自分で簡単にクリーニングができ、元通りに使用できました。
CC-10本体とACアダプタをカバンに入れて持ち運び、フィールドサービスに使用できます。
重量1kg弱でありながら、表示もついているため、大気圧から超高真空までの測定が現場で手軽に行えます。
真空計をチャンバーに取付けてACアダプタを接続するだけで、その場で簡単に真空度が確認できました。