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ミスミ ステージ相談窓口
高精度なステージ等を用いた測定装置、製造装置を設置している場所にも多かれ少なかれ振動が発生し、
また、ステージ自体の動きも振動を発生させています。
この振動が精密な測定や製造に悪い影響を及ぼす際の解決策として有効なのが除振台です。
今回は、ステージ全体のラインナップと、除振台をご紹介させていただきます。
・精度重視
・高精度
・高剛性
・オプションも充実
・一定以上のSPEC
・一般的
・剛性重視
・手動ステージ
・自動ステージ
直動 | 水平面Z軸 | ゴニオ | 回転 | |
手動 | ![]() |
![]() |
― | ― |
リニアボール (SSステージ) | クロスローラ | |||
代表型番:BSS | 代表型番:B33 (型番末尾-KGシリーズ) |
|||
自動 | ![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
リニアボール | クロスローラ | サインモーション(ボールねじ) | サインモーション/ウォームギア | |
代表型番:PG | 代表型番:KH | 代表型番:KGB | 代表型番:KRB |
直動 | 水平面Z軸 | ゴニオ | 回転 | |
手動 | ![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
クロスローラ | クロスローラ | クロスローラ | クロスローラ | |
代表型番:B11 | 代表型番:B33 (型番末尾-KGを除く)/B37 |
代表型番:B56 | 代表型番:B44/ B47 | |
自動 | ![]() |
― | ![]() |
― |
クロスローラ | ウォームギア | |||
代表型番:KXC | 代表型番:KG |
直動 | 水平面Z軸 | ゴニオ | 回転 | |
自動 | ![]() |
― | ― | ― |
リニアボール CAVE-X POSITIONER |
||||
代表型番:KXG | ||||
![]() |
![]() |
― | ― | |
リニアボール | クロスローラ | |||
代表型番:KXT | 代表型番:KS332 |
直動 | 水平面Z軸 | ゴニオ | 回転 | |
手動 | ![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
アリ式(アリ溝) | アリ式(アリ溝) | アリ式(アリ溝) | すりあわせ | |
代表型番:B05/B06 | 代表型番:B07 | 代表型番:B54 | 代表型番:B43 | |
自動 | ― | ![]() |
― | ![]() |
リニアボール | ウォームギア | |||
代表型番:KHE | 代表型番:KRB |
ステージの選定でお悩みなら、選定支援サービスへ!
ミスミ ステージ相談窓口
駿河精機の光学機器の中でも国内最高峰の防振機能を備えた「JHD/JSDシリーズ」に代表される除振台で、皆様のお悩みを解決いたします。
国内最高峰の除振機能を発揮する駿河精機のJHD/JSDシリーズで解決!
補助質量とばね・オイルの組合せで、定盤自体に高い除振機能を備えたチューンド・マス・ダンピング方式を採用!
駿河精機のスチールハニカム光学定盤で解決!
アルミハニカムに比べて剛性が“60%以上”向上。
定盤内部の上面から下面まで、一切つなぎ目のない 一枚のスチールハニカムと、各部品の接合には完全硬化型の接着剤を用いることで 高剛性を実現しました。
駿河精機のスチールハニカム光学定盤で解決!
組み立てる前に上面板のタップ加工を行い、各部品に“溶剤洗浄“を施してから組み立てるため、クリーン環境に適しています。
駿河精機のスチールハニカム光学定盤で解決!
T型・L型・Z型各種のような各種複合型ができます。
また、2つ以上のスチールハニカム除振台のドッキングバージョンで、超大型の除振台をつくることも可能です。
光学系の設定位置や部屋の状況に合わせた、T字型やL字型等の形の構成も可能です。
これは、入り口が狭く、搬入が困難な場合にも有効です。
高精度の位置決めステージを提供する駿河精機では、光学機器も多数取り揃えております。
光学機器の中でも、国内最高峰の防振機能を備えた「JHD/JSDシリーズ」に代表される除振台のラインナップをご紹介いたします。
空気ばね式 | 上級型 | JHDシリーズ |
---|---|---|
ハイグレードダンピング | ||
固有振動数:垂直1.2~1.8Hz、水平0.6~0.8Hz
|
||
JSDシリーズ | ||
スタンダードダンピング | ||
固有振動数:垂直1.2~1.8Hz、水平0.6~0.8Hz
|
||
普及型 | J02シリーズ | |
普及型スチールハニカム | ||
固有振動数:垂直1.2Hz、水平1.8Hz |
||
J03シリーズ | ||
普及型スチールハニカム(手押しポンプ式) | ||
固有振動数:垂直1.2Hz、水平1.0Hz |
||
J04Nシリーズ | ||
スチールハニカム(エコノミータイプ) | ||
固有振動数:垂直1.8Hz、水平2.0Hz |
||
システム デスク型 |
J06シリーズ | |
デスク型空気ばね式 | ||
固有振動数:垂直1.8Hz、水平2.0Hz |
||
防振ゴム式 | 普及型 | J05Nシリーズ |
スチールハニカム(エコノミータイプ) | ||
固有振動数:垂直12~15Hz、水平5~8Hz |
空気ばね式 | 除振盤 | J07Nシリーズ |
---|---|---|
三次元空気ばね式 | ||
固有振動数:垂直1.8~2.5Hz 水平3.2~4.0Hz
|
||
防振ゴム式 | 防振盤 | J10シリーズ |
卓上型防振ゴム式 | ||
固有振動数:垂直 約13Hz・水平 約5Hz |
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