短納期×作図不要×無償検査書添付
・フジキン製UJR®継手使用の溶接加工品が最短7日目出荷
・仕様を選ぶだけで図面いらず、2D・3D CADも豊富にご用意
・全数リーク検査書を無償添付
（リークレート：1×10^-10 Pa・m3/sec以下）
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17時までのご注文で最短当日出荷可能 当日出荷対象商品135万点拡大中！
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ミスミでは真空配管商品のラインナップ拡大に取り組んでいます。
【供給側】高純度ガス配管 、【排気側】真空配管用部品をご紹介します。
真空配管の使用イメージ
■特長
| 【供給側】高純度ガス配管 | 高純度ガス配管は、真空チャンバ内に高純度ガスを供給する配管。高いクリーン度とシール性が求められる。 管にはSUS316LのBA管・EP管、継手にはメタルガスケット式面シール継手（VCR®、UJR®など）が主に使用される。 |
|---|---|
| 【排気側】真空配管用部品 | 真空配管用部品は、真空チャンバ内の空気・ガスを排気する配管。 真空度に応じて、求められる規格が異なり、ICF、NW、JIS規格などが主に使用される。 |
■使用イメージ（例：真空蒸着装置）
【供給側】高純度ガス配管
■使用イメージ（例：ガスパネル）
■業界別使用シーン例
| 半導体・FPD | エッチング、プラズマCVD、フォトマスク検査、 ワイヤボンディングなど |
|---|---|
| 燃料電池・水素 | セル評価装置、水電解装置（PEM型、アルカリ型）、 水素精製装置（PSA、膜分離）など |
| 研究機関 | 表面分析（XPS, AES）、電子顕微鏡（SEM, TEM）など |
| 宇宙・航空 | 加速器など |
| 材料・金属加工 | 電子ビーム溶接、真空蒸着、スパッタリングなど |
高純度ガス配管設計に関するよくあるお悩み
VCR®やUJR®の溶接配管は外注手配で1カ月超の長納期・・・
都度設計・作図し、見積もり・手配するのが手間・・・
リーク検査にも時間・費用がかかる
ミスミの 高純度ガス配管 なら！
商品ラインナップ
高純度ガス用溶接SUS配管
溶接加工品が最短7日目出荷
2D・3D CADもダウンロード可能、作図時間ゼロで価値あるコア設計へ
追加工で角度指定、ガスケット指定も可能！選定方法の詳細はこちら
■1～5系統タイプ
■曲げタイプ
ステンレス管
高耐食のSUS316L材を追加！BA管は脱脂洗浄、EP管は精密洗浄済
指定寸タイプは1mm単位指定、固定寸タイプはL2000mm・4000mmを選択可能
高純度ガス配管の選定方法 もっと見る 閉じる
■型式例
■外形図
（完成例 3D CAD）
■選定方法
＼商品ページの以下項目にて、ご希望に合わせて選択してください／
1. 管種類を選ぶ
必須
2. 配管形状を選ぶ
必須
3. 呼び径を選ぶ
必須
4. 継手を選ぶ
必須
（継手仕様）
5. 管長さを入力
必須
6. （追加工）角度指定を選ぶ
（角度指定方法）
7. （追加工）ガスケットを選ぶ
（ガスケット一覧）
| Code | リテーナー | [ M ]材質 | [ S ]表面処理 |
|---|---|---|---|
| ガスケット記号 | |||
| GA | 有 | SUS316L (Wメルト) |
銀メッキ |
| GB | - | ||
| GC | ニッケル | 銀メッキ | |
| GD | - | ||
| GE | 無 | SUS316L (Wメルト) |
銀メッキ |
| GF | - | ||
| GG | ニッケル | 銀メッキ | |
| GH | - |
【排気側】真空配管用部品
標準規格品を豊富に在庫し最短当日出荷
真空管・チューブは任意の長さ指定で1～5日目出荷
商品ラインナップ
真空用継手
真空用チューブ・ホース
真空配管用センターリング・ガスケット
真空配管用フランジ
真空配管用クランプ
お問い合わせ先
ラインナップは随時拡大してまいります。
商品のご要望がございましたらお気軽にご連絡ください
