SMC 真空バルブ

圧力バランス構造で、排気方向が自由な高真空L型バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む

駆動用エアが不要のため可搬装置への使用が可能な高真空L型バルブ。【特長】・金属摺動部がないためダスト減少・圧力バランス構造で、排気方向自由・電磁弁駆動用の制御電源回路付を標準化・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできます・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率が小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済みます・フッ素に強い・軽量・コンパクト・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減します

発塵を低減し、シール性能が向上した常時閉型高真空電磁弁 。【特長】・難燃性がある（UL94V-0準拠）・2種の継手（フェースシール継手・コンプレッション継手）、めねじ（Rc、NPT）を用意・スプリングを鉄心摺動部からボディ部へ移動することによりスプリングの接触による発塵を低減させました・大きなスプリング力で確実にシール・消費電力※：4.5W（サイズ1）/7W（サイズ2）/10.5W（サイズ3）（※DC仕様/B種の場合です。）・使用温度範囲：5～60℃

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・圧力バランス構造・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

アウトガスが少ない真空レギュレータ。【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）・メンテナンスコストの低減と廃棄物の削減が図れる

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能

圧力バランス構造の真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

ポンプの過負荷運転を防止する真空バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバ内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取り付け（XMシリーズ）

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

ワークがなくても真空圧力の低下を抑制する真空バルブ。【特長】・1つの真空発生器で真空パッドを多数個使用した場合に、未吸着状態のパッドがあっても、真空圧力の低下を抑制するため、ワークを保持・ワンタッチ管継手付を追加・ワーク変更による切換作業が不要・ワーク形状が異なる場合、制御回路の簡略化が可能・固定絞り径：0.3mm、0.5mm、0.7mm、1mm

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い

ポンプの過負荷運転を防止する高真空L型バルブ。【特長】・初期排気バルブと主排気バルブを一体化（流量二段制御バルブ）・システムのコンパクト化および省配管化を実現・排気時にチェンバー内のダスト巻上げを防止・初期排気弁の流量調整可能・エアオペレートタイプ/電磁弁付き・アウトガスが少ないため、ポンプ能力が小さくて済み、排気時間も短くできる・Ni（ニッケル）、Cr（クロム）等の重金属を含まず、スパッタリング率も小さいためウエハへの重金属汚染が少なくて済む・フッ素に強い・均一なベーキング温度。熱伝導率が良く、ボディ全体が均一な温度になり、生成物の付着が激減・軽量・コンパクト

【特長】・アルミボディ採用・均一なベーキング温度・軽量・コンパクト・アウトガスが少ない・重金属汚染が少ない・フッ素ガスの腐食に強い・ベローズ交換が可能（ベローズシールタイプ）

圧力バランス構造で、排気方向が自由な真空バルブ。【特長】・ベローズ式でダストフリー、クリーン化・低い操作トルク（0.5N・m以下）・スプリングによる一定のシール荷重・バルブ開閉時のハンドル高さが一定・開閉確認用インジケータを標準で装備・ボディ材質：SCS13（SUS304相当）・ガス溜まりのない精密鋳造一体構造・アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付（XMシリーズ）・軽量・コンパクト

アルミニウム製高真空L型バルブ、XLA・XLC・XLF・XLGシリーズの保守部品です。

初期給気、主給気ともに流量調整可能なスムーズベントバルブ。【特長】・バルブとニードル弁一体化構造で配管スペースが1/4（従来比）・シート部にメタルダイヤフラム採用でパーティクルを大幅低減・弁の形式：常時閉（加圧開・スプリングシール）・使用流体：窒素、空気、不活性ガス等・使用温度：5～60℃（ベーキング温度、150℃以下）・質量：0.5kg